中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例,晶圓級(jí)萬顆批量生產(chǎn),單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初...
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