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  • MEMS熱電堆——讓深硅刻蝕成為行業(yè)新寵

    深硅刻蝕技術在工業(yè)界應用廣泛，包括集成電路制造、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造和微納光子學的研究等領域，其經(jīng)歷了由濕法刻蝕到干法...

    來源 : 蘇州硅時代 | 2020-04-29 10:46
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