《人民日報》

打好科技儀器設(shè)備攻堅戰(zhàn)

習近平總書記強調(diào)：“要打好科技儀器設(shè)備、操作系統(tǒng)和基礎(chǔ)軟件國產(chǎn)化攻堅戰(zhàn)，鼓勵科研機構(gòu)、高校同企業(yè)開展聯(lián)合攻關(guān)，提升國產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，爭取早日實現(xiàn)用我國自主的研究平臺、儀器設(shè)備來解決重大基礎(chǔ)研究問題?！?

科技儀器研發(fā)水平是創(chuàng)新實力的體現(xiàn)，也在很大程度上決定著基礎(chǔ)研究和新技術(shù)、新產(chǎn)品開發(fā)的廣度和深度。從歷史上看，許多重大科學研究成果的突破，通常以科學儀器和技術(shù)手段的創(chuàng)新為先導(dǎo)。上世紀50年代，抱著“要做自己的電子顯微鏡”的信念，我國光學事業(yè)奠基人王大珩帶領(lǐng)團隊攻關(guān)，獲得一系列創(chuàng)新成果，為相關(guān)國產(chǎn)精密儀器發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，推動了光學研究的進步。從未來發(fā)展趨勢看，隨著科學研究、技術(shù)開發(fā)向物質(zhì)極端尺度推進，科技儀器設(shè)備發(fā)揮的作用將更為關(guān)鍵。

——《人民日報》

自主創(chuàng)新

發(fā)展中國自己的電子光學技術(shù)

王大珩院士曾指出“儀器是認識世界的工具！”電子顯微鏡正是認識亞微米以及納米尺度微觀世界的重要工具。正如《人民日報》提到的，上世紀50年代，我國光學事業(yè)奠基人王大珩等人在制定我國《1956～1967年科技發(fā)展遠景規(guī)劃綱要》時提出了要研制電子顯微鏡的想法，并成立了儀器規(guī)劃小組。

抱著“要做自己的電子顯微鏡”的信念，王大珩院士帶隊攻關(guān)，獲得一系列創(chuàng)新成果，為相關(guān)國產(chǎn)精密儀器發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，推動了光學研究的進步。

1958年8月，攻關(guān)團隊在長春光機所研制成功我國第一臺“自制”的中型電子顯微鏡DX-100(I)（也稱XD-100(I)），分辨率10nm，開創(chuàng)了中國制造電子顯微鏡的歷史。

我國第一臺電子顯微鏡DX-100(I)

繼往開來

走好中科科儀電鏡產(chǎn)業(yè)化之路

根據(jù)《科技十年發(fā)展規(guī)劃綱要》的要求，中國科學院科學儀器廠（后轉(zhuǎn)制成為北京中科科儀股份有限公司，本文統(tǒng)稱“中科科儀”），作為中科院重要的科研儀器研制單位，開始承擔試制高分辨率電子顯微鏡的任務(wù)。1963年，為了集中優(yōu)勢技術(shù)力量進行攻關(guān)，原長春光機所從事電子顯微鏡研制工作的骨干研究團隊調(diào)入中科科儀。

中科科儀電子光學研發(fā)團隊立足于“自行設(shè)計為主，參考樣機為輔”的技術(shù)路線，加強關(guān)鍵核心部件的試驗，致力于研發(fā)我國自主設(shè)計的透射電子顯微鏡。

1965年，中科科儀研制成功DX-2型透射電子顯微鏡，點分辯本領(lǐng)達5?，達到國際先進水平，這款電鏡被“全國儀器儀表新產(chǎn)品展覽會”列為重大新產(chǎn)品在展館展出。

上世紀70年代，基于深厚的電子光學技術(shù)基礎(chǔ)和產(chǎn)業(yè)化能力，中科科儀開始承擔中科院關(guān)于掃描電子顯微鏡的試制任務(wù)，自主研制中國自己的掃描電子顯微鏡。

1975年，中科科儀研制成功我國第一臺DX-3型掃描電子顯微鏡，樣機通過了來自全國各地30多個單位，60多名代表的鑒定測試，分辨率優(yōu)于10nm，主要指標達到當時國際先進水平。

1978年，DX-3掃描電子顯微鏡榮獲科學大會一等獎和中國科學院重大科技成果獎一等獎，“科儀廠掃描電鏡組”榮獲國務(wù)院總理親筆題詞的榮譽證書。DX-3型掃描電鏡，總計生產(chǎn)了近百臺，為我國的科研事業(yè)的發(fā)展做出突出貢獻，這既是我國高端科學儀器研制工作的成功，也是電鏡產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的巨大勝利。

此后，中科科儀電子光學研發(fā)團隊持續(xù)創(chuàng)新發(fā)展，先后研制出我國第一臺高分辨大型透射電子顯微鏡DX-4型、第一臺帶有數(shù)字圖像處理功能的掃描電子顯微鏡KYKY-2000型、第一臺全計算機控制的掃描電子顯微鏡KYKY-3800型、第一臺低真空掃描電子顯微鏡KYKY-EM6900LV型，實現(xiàn)國內(nèi)領(lǐng)域多項零的突破，始終走在國產(chǎn)科技儀器設(shè)備自主創(chuàng)新之路的最前沿。

劈波斬浪

打好國產(chǎn)科技儀器設(shè)備攻堅戰(zhàn)

為提高我國科學儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力和自我裝備水平，2013年，中科科儀作為牽頭單位，勇?lián)鷩a(chǎn)電鏡創(chuàng)新發(fā)展重任，揭榜國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項——“場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)與應(yīng)用”項目，續(xù)寫國產(chǎn)高端科學儀器自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化發(fā)展新篇章。

2014年，中科科儀突破了多項技術(shù)壁壘，研制成功我國首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8000，分辨率優(yōu)于1.5nm，打破了國外的技術(shù)和市場壟斷。

2017年，中科科儀研制成功KYKY-EM8100高分辨場發(fā)射槍掃描電鏡，分辨率突破至1.0nm，達到最新國際一流水平，并成功實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

KYKY-EM8100型場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡

由“0”到“1”，“再到“100”，一代代科儀人始終永葆初心、矢志奮斗，繼承和發(fā)揚老一輩“電鏡人”的創(chuàng)新精神和嚴謹作風，詮釋新一代擔當，不斷突破關(guān)鍵核心技術(shù)，為國產(chǎn)高端科學儀器發(fā)展貢獻青春力量。