這些量身定做的改變，搭配上橫河傳統(tǒng)的自由空間光構(gòu)造設(shè)計(jì)，在相同設(shè)置條件下，掃描速度可是AQ6370D的兩倍不止，能給客戶提升的產(chǎn)能是相當(dāng)可觀的。

AQ6360激光芯片掃描圖譜

掃描速度

選型時(shí)大部分客戶最為關(guān)注的就是掃描速度，因?yàn)閷す庑酒瑴y試的企業(yè)來說，需要測試的芯片可能數(shù)以百萬為計(jì)，所以提升每個(gè)芯片的測試效率就非常重要了。

@Sens: MID, x2 mode. Res 0.1 nm, Span 50 nm, 2001 points

波長精度

有些客戶可能會(huì)質(zhì)疑：“AQ6360就是AQ6370D做了減配吧？”

對比AQ6360與AQ6150（波長計(jì)）就會(huì)發(fā)現(xiàn)，AQ6360實(shí)際的波長精度到底有多好——

AQ6360波長精度指標(biāo)是0.02nm（20pm）；

AQ6150波長精度是1pm。

上圖對比可以看出AQ6360實(shí)際的精度要好于標(biāo)稱參數(shù)，大概4pm左右，完全能夠跟市場上一些波長計(jì)相媲美。它的性能和AQ6370D一樣出色！所以AQ6360可以給客戶帶來前所未有的“快感”，同時(shí)又能保證測試的精度。

芯片的供電與測試——SMU

源測量單元（SMU），顧名思義就是可編程電源和測量儀表的結(jié)合體，既可電源輸出，又可以進(jìn)行測量。隨著對源和測量同步性要求的不斷提高，SMU在生物化學(xué)、超導(dǎo)材料、光電器件測試、半導(dǎo)體研究等領(lǐng)域起到了越來越大的作用。

GS820工作時(shí)序圖

以對半導(dǎo)體激光器芯片進(jìn)行檢測為例，需要SMU輸出電流驅(qū)動(dòng)激光器，并測量光電傳感器的輸出電壓，同時(shí)使用光譜分析儀對激光器的發(fā)光波長和光譜特性進(jìn)行檢測。

由于光電傳感器產(chǎn)生的電壓很小，需要源表具有很高的分解能力和測量精度。為了避免激光器過熱和提高檢測速度，驅(qū)動(dòng)電流需要以窄脈沖掃描的形式進(jìn)行輸出，這就對SMU的響應(yīng)和測量速度提出了很高要求。這樣的檢測工作在生產(chǎn)線上可能需要連續(xù)24小時(shí)進(jìn)行，SMU的穩(wěn)定性也至關(guān)重要。

SMU 源測量單元的關(guān)鍵參數(shù)：

精度

精度是根本，高精度SMU的輸出和測量精度可以達(dá)到很高，然而這個(gè)精度指標(biāo)通常是有很多限制條件的，比如溫度范圍、保證時(shí)限等。保證精度的溫度范圍越寬，保證時(shí)限越長，實(shí)際測試過程中的精度才越有保障。

橫河GS200系列SMU的最高精度可達(dá)讀數(shù)的0.001%；在23±5℃的溫度范圍時(shí)，一年的保證精度也可以達(dá)到讀數(shù)的0.016%；23±5℃溫度范圍以外時(shí)，溫度系數(shù)更可高達(dá)±0.0008%/℃。

穩(wěn)定性

穩(wěn)定性是指SMU在進(jìn)行長時(shí)間連續(xù)測量時(shí)，精度的變化情況。影響穩(wěn)定性的因素有很多，如元器件的質(zhì)量、零部件的磨損老化、以及使用或貯存不當(dāng)?shù)取?

另外，SMU的實(shí)際應(yīng)用場景通常會(huì)連續(xù)測量較長時(shí)間，會(huì)在SMU的機(jī)箱內(nèi)產(chǎn)生并積累熱量，如果散熱處理不當(dāng)也會(huì)對輸出和測量的精度帶來較大的影響。

GS200輸出穩(wěn)定性與其他公司產(chǎn)品對比

響應(yīng)速度

當(dāng)SMU的輸出通過掃描或編程頻繁進(jìn)行切換時(shí)，輸出的響應(yīng)速度就變得尤為重要。

快速的響應(yīng)才能保證輸出對時(shí)間的準(zhǔn)確性，迅速而準(zhǔn)確地達(dá)到輸出值，而良好的震蕩抑制能夠確保電壓、電流輸出的穩(wěn)定，避免對被測對象產(chǎn)生不必要的沖擊。

結(jié)語