在低壓和中壓的測(cè)量應(yīng)用中，可選擇范圍較為廣泛，高精度可選諧振式，中等精度水平可以選用擴(kuò)散硅式，陶瓷電容電阻式，金屬應(yīng)變式等傳感器。擴(kuò)散硅式靈敏度高，體積小，生產(chǎn)工藝復(fù)雜，相對(duì)成本略高；陶瓷式成本低，精度低，適合大批量低成本應(yīng)用，受限于材料的特性，靈敏度較低，不耐壓力瞬變和機(jī)械沖擊；金屬應(yīng)變式兼顧成本和精度，采用熱處理的彈性體，可以適應(yīng)不同的測(cè)量介質(zhì)要求，敏感元部分根據(jù)不同的工藝，有濺射薄膜，玻璃微熔，應(yīng)變片等，覆蓋低靈敏度到高靈敏度的范圍，受限于彈性體工藝限制，在低壓力下的測(cè)量時(shí)，精度較差，優(yōu)點(diǎn)是金屬的彈性體可以承受較大的沖擊。

中高壓的應(yīng)用中，擴(kuò)散硅和金屬應(yīng)變式各有著廣泛的應(yīng)用，陶瓷受限于材料的強(qiáng)度，高壓耐受強(qiáng)度較差。高壓應(yīng)用中，金屬應(yīng)變式有較大的優(yōu)勢(shì)，得益于金屬?gòu)椥泽w材料的強(qiáng)度，可以承受幾百兆帕的壓力，同時(shí)能夠應(yīng)對(duì)較大沖擊的應(yīng)用場(chǎng)景，例如在石油壓裂領(lǐng)域有著非常廣泛的應(yīng)用。

壓力傳感器按照準(zhǔn)確度等級(jí)來(lái)看，覆蓋從高精度的0.01級(jí)到低精度的4.0級(jí)，通常諧振式壓力傳感器能覆蓋從低壓到高壓，0.01級(jí)到0.05級(jí)的測(cè)量要求，擴(kuò)散硅傳感器的精度等級(jí)范圍為0.02~0.5級(jí)，陶瓷類的傳感器等級(jí)為0.2~4.0級(jí)，金屬應(yīng)變式0.5~4.0級(jí)。

福祿克壓力校準(zhǔn)解決方案

針對(duì)各種不同量程和精度的壓力傳感器校準(zhǔn)，福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的壓力校準(zhǔn)產(chǎn)品，可以覆蓋從0.01級(jí)到4.0級(jí)的微壓到高壓的寬量程范圍壓力校準(zhǔn)。

根據(jù)計(jì)量檢定規(guī)程要求，0.01級(jí)的壓力傳感器只能使用0.005級(jí)的活塞式壓力計(jì)來(lái)校準(zhǔn)，福祿克的PG7601, PG7202和PG7302系列活塞壓力計(jì)，覆蓋從7kPa~500MPa范圍內(nèi)的0.005級(jí)表壓絕壓壓力校準(zhǔn)。

對(duì)于微壓的0.02~0.5級(jí)壓力傳感器，7250LP系列微壓氣體壓力校準(zhǔn)器可以覆蓋0~25kPa微壓壓力范圍，最優(yōu)不確定度達(dá)到0.009%讀數(shù)，搭配負(fù)表壓模塊，可實(shí)現(xiàn)負(fù)壓壓力校準(zhǔn)。

對(duì)于中壓到高壓范圍，6270A，8270A/8370A模塊化氣體壓力控制器可以覆蓋從低壓25kPa到高壓110MPa的氣體介質(zhì)壓力校準(zhǔn)，一年期不確定度達(dá)到0.01%讀數(shù)，單機(jī)可最多配備五個(gè)不同量程的校準(zhǔn)模塊，實(shí)現(xiàn)各個(gè)量程段最優(yōu)不確定度，使用氣體作為校準(zhǔn)介質(zhì)，可以適用于對(duì)潔凈度要求較高的傳感器校準(zhǔn)應(yīng)用，例如半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的壓力傳感器。

對(duì)于20MPa~200MPa的壓力傳感器，也可以采用PPCH高壓液體壓力校準(zhǔn)器，實(shí)現(xiàn)1~200MPa的自動(dòng)壓力校準(zhǔn)，最優(yōu)不確定度達(dá)到0.013%讀數(shù)， 具備自動(dòng)量程功能，可實(shí)現(xiàn)最佳的傳感器校準(zhǔn)性能。

另外，對(duì)于一些需要低成本校準(zhǔn)的應(yīng)用，福祿克提供了低成本壓力控制器的2271A工業(yè)壓力校準(zhǔn)器（氣體）和E-DWT-H數(shù)字壓力校準(zhǔn)器（液體），可以適用于一些實(shí)驗(yàn)室等小規(guī)模校準(zhǔn)測(cè)試。FLUKE還提供整體解決方案，覆蓋從軟件到電測(cè)設(shè)備，管路連接，氣體和液體增壓系統(tǒng)等全系列校準(zhǔn)應(yīng)用。