☆ 微機(jī)械加工技術(shù)及微機(jī)電儀表集成技術(shù)。

4.3 航天儀器儀表的產(chǎn)業(yè)化

自“七五”以來(lái),國(guó)內(nèi)儀表研究包括航天儀器儀表取得許多創(chuàng)新性研究成果。在2020年儀器儀表發(fā)展規(guī)劃中,應(yīng)該對(duì)于產(chǎn)業(yè)化給予足夠的重視。

4.3.1 航天測(cè)控儀表的產(chǎn)業(yè)化,

☆ 磁致伸縮液位及位移測(cè)量系統(tǒng)和濺射薄膜壓力測(cè)控儀表;

☆ 航天MEMS測(cè)控儀表,如壓力、加速度計(jì)等。

4.3.2 航天慣性?xún)x表的產(chǎn)業(yè)化

☆ 小型化、高可靠光纖、激光陀螺儀;

☆ 小型化、高精度石英、硅加速度計(jì);

☆ 微機(jī)電慣性?xún)x表等

5. 分段實(shí)施的步驟和方案

5.1 航天測(cè)控儀表

5.1.1 2005年

開(kāi)展新型航天MEMS測(cè)控儀表微型結(jié)構(gòu)先進(jìn)加工技術(shù)的研究,航天特殊參數(shù)測(cè)量技術(shù)研究,以及測(cè)控儀表智能化、數(shù)字化技術(shù)的研究。完成磁致伸縮液位測(cè)量系統(tǒng)和濺射薄膜壓力測(cè)控儀表產(chǎn)業(yè)化工程的建設(shè),形成年產(chǎn)10萬(wàn)只磁致伸縮液位及位移傳感器、5萬(wàn)只濺射薄膜壓力測(cè)控儀表的能力。同時(shí)開(kāi)展MEMS測(cè)控儀表產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ)工作。

5.1.2 2010年

完全成熟航天MEMS測(cè)控儀表技術(shù),實(shí)現(xiàn)航天測(cè)控儀表智能化、數(shù)字化,實(shí)現(xiàn)更新?lián)Q代,并應(yīng)用于信息化武器裝備。MEMS測(cè)控儀表實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。完全實(shí)現(xiàn)磁致伸縮液位測(cè)量系統(tǒng)和濺射薄膜壓力測(cè)控儀表的產(chǎn)業(yè)化,替代進(jìn)口產(chǎn)品,形成國(guó)內(nèi)大型研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、試驗(yàn)基地。

5.1.3 2020年

建成以航天高科技為主導(dǎo)的測(cè)控儀表產(chǎn)業(yè)化發(fā)展基地。隨著新型航天飛行器的開(kāi)發(fā)研制,航天測(cè)控儀表將開(kāi)展深空深測(cè)、微型控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)、智能網(wǎng)絡(luò)測(cè)量系統(tǒng)、三維敏感系統(tǒng)等新應(yīng)用領(lǐng)域的研究工作。

5.2 航天慣性?xún)x器儀表

軍民兩用慣性?xún)x器儀表發(fā)展實(shí)施步驟建議:

產(chǎn)業(yè)化產(chǎn)品 應(yīng)用領(lǐng)域 2005年前后 2010年前后 2020年前后

車(chē)載導(dǎo)航定位、定向儀 各種軍用、民用車(chē)輛 采用光學(xué)陀螺、石英加速度計(jì)組成年產(chǎn)**套以上 采用微固態(tài)的慣性?xún)x表組成（低成本）

年產(chǎn)**套左右 采用MEMS技術(shù)、集成一體化（微功耗、小體積）

年產(chǎn)**套左右

地下、水下定位定向儀 鉆井、隧道工程，水下救撈、測(cè)量及建設(shè)工程 采用小型高可靠撓性陀螺、石英加速度計(jì)年產(chǎn)**套以上 采用光學(xué)陀螺、硅加速度計(jì)年產(chǎn)**套左右

陀螺指北儀 軍用、民用測(cè)量及建設(shè)工程 采用機(jī)械螺 采用光學(xué)蛇螺