對國家而言，精密測量與裝備制造業(yè)水平緊密相關(guān)。裝備制造業(yè)向中高端跨越的關(guān)鍵是提升制造質(zhì)量，而提升制造質(zhì)量的關(guān)鍵則是提高精密測量能力。只有通過精密測量，才能知道產(chǎn)品哪里不合格；只有通過大量精密測量數(shù)據(jù)的積累，才能找到產(chǎn)品不合格的根源與規(guī)律；只有基于精密測量數(shù)據(jù)建立起成體系的誤差補(bǔ)償模型，才能有效實現(xiàn)制造精度和產(chǎn)品性能的精確調(diào)控，產(chǎn)品質(zhì)量才能在不斷的精確調(diào)控中逐漸提升。

超精密光刻機(jī)的研制，很好地證明了這個結(jié)論。超精密光刻機(jī)被稱為“超精密尖端裝備的珠穆朗瑪峰”，挑戰(zhàn)著人類超精密制造的精度和性能極限。超精密光刻機(jī)是在超精密量級上把最先進(jìn)的光機(jī)電控等幾十個分系統(tǒng)、幾萬個零部件集成在一起，使其高性能協(xié)同工作。它是人類裝備制造史上復(fù)雜程度最高、技術(shù)難度最大、綜合精度性能最強(qiáng)的尖端裝備之一。它在高速和高加速度下，達(dá)到納米級的同步精度、單機(jī)套刻精度和匹配套刻精度等，這與傳統(tǒng)的精度提升環(huán)境完全不同。超精密光刻機(jī)的制造精度已接近現(xiàn)有制造能力的極限，其精度提升一點點，通常都要付出幾倍十幾倍的努力。比如，用于28納米節(jié)點制程的DUV光刻機(jī)擁有7萬多個光機(jī)零件，涉及上游5000多家供應(yīng)商。這些零部件對精度和穩(wěn)定性的要求極高，只有發(fā)揮供應(yīng)鏈上所有頂尖制造商的技術(shù)優(yōu)勢，才能全部達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，超精密光刻機(jī)才能研發(fā)成功。

任何一個重要零件的不合格，都會導(dǎo)致超精密光刻機(jī)研制失敗。以其中一個構(gòu)件——激光反射鏡的制造精度為例。它由微晶玻璃制成，有108項尺寸公差和62項形狀、位置、方向公差，還有內(nèi)部應(yīng)力等技術(shù)要求。要完成這樣一個復(fù)雜構(gòu)件的超精密測量，需要20多種專用超精密測量儀器。而光刻機(jī)有7萬多個光機(jī)零件，其中80%以上的零件屬于精密和超精密級，需要700多種專用精密和超精密測量儀器。如果沒有成體系的專用超精密測量技術(shù)與儀器來管控制造精度，就不可能制造出合格的零件，也就不可能裝配調(diào)試出合格的部件與分系統(tǒng)，更不可能制造出合格的光刻機(jī)整機(jī)。

精密測量技術(shù)還推動了各國建立國家測量體系。它能夠有效管控工業(yè)測量體系，保障整個制造鏈的質(zhì)量，賦能高科技產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。對大眾而言，直觀感受就是所購買的工業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量變好了、更好用了。目前工業(yè)發(fā)達(dá)國家的產(chǎn)品都經(jīng)歷了從低質(zhì)量向高質(zhì)量的曲折發(fā)展歷程。正是因為建立起了完整的精密測量體系，培育起了一批頂尖超精密儀器企業(yè)，才能對高端裝備制造形成強(qiáng)有力支撐，才能打造出諸多國際馳名品牌。

我國正在向世界科技強(qiáng)國、制造強(qiáng)國和質(zhì)量強(qiáng)國邁進(jìn)，構(gòu)建新一代國家測量體系成為關(guān)鍵一環(huán)。今年1月，國務(wù)院印發(fā)《計量發(fā)展規(guī)劃（2021—2035年）》，明確提出加快構(gòu)建國家現(xiàn)代先進(jìn)測量體系，推進(jìn)計量標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)。我國精密測量領(lǐng)域科研工作者將繼續(xù)勇?lián)厝?，以與時俱進(jìn)的精神、革故鼎新的勇氣、堅忍不拔的定力，為中國制造備好“尺子”，為科技強(qiáng)國建設(shè)不懈奮斗。

推薦讀物：

1.《中國古代計量史》：丘光明著；安徽科學(xué)技術(shù)出版社出版。

2.《精密激光測量技術(shù)與系統(tǒng)》：胡鵬程等編著；科學(xué)出版社出版。

3.《精密測量中的誤差補(bǔ)償技術(shù)》：譚久彬著；哈爾濱工業(yè)大學(xué)出版社出版。