德州儀器(TI)的DLP® NIR芯片組就是一種久經(jīng)考驗的MEMS技術。這項技術提供針對小巧、可編程且高性能光譜分析儀的高保真光調制。其中,TI DLP2010NIR和DLP4500NIR可實現(xiàn)令人激動的全新波長控制特性,比如說哈達瑪圖形和旋轉掃描動態(tài)可編程性。其它新涌現(xiàn)的MEMS技術,其中包括法布里-珀羅干涉儀和邁克爾遜干涉儀,顯示出儀器架構簡化方面的良好發(fā)展前景,不過仍然面臨著滿足信噪比和分辨率標準等實驗室性能需求的挑戰(zhàn)。
雖然有很多的光譜分析儀架構選擇,MEMS技術的吸引力仍與日俱增。動態(tài)可編程性、成本降低、使用單點探測器,以及免除對大型移動部件的需要只是基于MEMS的架構所能提供眾多優(yōu)勢中的一部分。這些優(yōu)勢,與可靠系統(tǒng)集成組合在一起,在現(xiàn)場部署期間,會變得更加關鍵。
