龐大信息社會的根基是一枚枚小巧的集成電路，通常被人們稱為“芯片”。別看芯片“身材小”，他們“喂養(yǎng)”著現(xiàn)代工業(yè)，手機(jī)、電腦、家電、高鐵、電動車、機(jī)器人、醫(yī)療儀器等離開他們根本無法運轉(zhuǎn)。

“芯片強(qiáng)則產(chǎn)業(yè)強(qiáng)，芯片興則經(jīng)濟(jì)興，沒有芯片就沒有安全?！笨萍疾恐卮髮ｍ椶k公室主任陳傳宏說，芯片（集成電路）制造技術(shù)是當(dāng)今世界最高水平微細(xì)加工技術(shù)，是全球高科技國力競爭的戰(zhàn)略必爭制高點。

2008年，我國啟動實施“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項（簡稱集成電路裝備專項）。9年來，集成電路高端制造裝備和材料從無到有填補產(chǎn)業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強(qiáng)走向世界參與國際競爭，集成電路產(chǎn)業(yè)駛?cè)肓俗灾鲃?chuàng)新發(fā)展的快車道。

關(guān)鍵裝備實現(xiàn)從無到有

集成電路裝備專項實施以來，我國集成電路制造技術(shù)和產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)了從無到有、由弱漸強(qiáng)的巨大變化

“每當(dāng)集成電路技術(shù)進(jìn)步一代，尺寸就縮小三分之一，對應(yīng)整個集成度提高4倍。”集成電路裝備專項技術(shù)總師、中科院微電子研究所所長葉甜春說：“以28納米技術(shù)為例，集成度相當(dāng)于在指甲蓋大小的面積上制造出10億個以上的晶體管，其中每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的三千分之一。更為先進(jìn)的14納米技術(shù)，則相當(dāng)于在人體頭發(fā)絲截面上制造出50萬個以上的晶體管，其中每根導(dǎo)線相當(dāng)于人體頭發(fā)絲的五千分之一?！?/span>

如此精細(xì)操作堪比在“針尖上跳舞”，對裝備、材料、工藝都是極大的考驗，由于涉及高技術(shù)含量，制造集成電路的裝備價格是一般裝備價格的10倍到100倍。長期以來，在集成電路高端裝備上我國長期受制于人，因為沒有工藝節(jié)點達(dá)到90納米、65納米以下的國內(nèi)自主研發(fā)集成電路裝備，只能采用國外的設(shè)備。

西方發(fā)達(dá)國家一直對出口到中國的集成電路制造裝備和材料以及工藝技術(shù)嚴(yán)格審查和限制。這對我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展構(gòu)成了嚴(yán)重制約，問題日益凸顯。與此同時，隨著我國國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展尤其是信息化進(jìn)程的加快，對集成電路產(chǎn)品的需求持續(xù)快速增長，從2006年開始，集成電路產(chǎn)品超過石油成為我國最大宗進(jìn)口產(chǎn)品，2013年至今，每年進(jìn)口額超過2000億美元。

實現(xiàn)集成電路領(lǐng)域的自主創(chuàng)新發(fā)展迫在眉睫。2008年集成電路裝備專項實施以來，200多家企事業(yè)單位、2萬多名科研人員參與技術(shù)攻關(guān)，主要集中在北京、上海、江蘇、沈陽、深圳和武漢等6個重點產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。經(jīng)過廣大科研人員艱苦努力，我國集成電路制造技術(shù)和產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)了從無到有、由弱漸強(qiáng)的巨大變化。

“我們有了自己的刻蝕機(jī)等關(guān)鍵裝備，并批量應(yīng)用在大生產(chǎn)線上；集成電路成套工藝水平提升5代，55/40/28納米三代工藝完成研發(fā)實現(xiàn)量產(chǎn)，20-14納米工藝研發(fā)取得突破；后道封裝集成技術(shù)成果全面實現(xiàn)量產(chǎn)，引領(lǐng)全行業(yè)技術(shù)水平從低端跨入高端，實現(xiàn)與世界同步?！比~甜春告訴記者。

這些自主研發(fā)的設(shè)備不僅銷往國內(nèi)市場，也逐步進(jìn)入海外市場。比如，中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司研發(fā)的介質(zhì)刻蝕設(shè)備不僅支持國內(nèi)芯片制造企業(yè)從65納米到28納米技術(shù)代的發(fā)展，而且在國際市場上各個技術(shù)節(jié)點水平都可以與世界最先進(jìn)設(shè)備廠商競爭。目前，中微公司已有460多個介質(zhì)刻蝕反應(yīng)臺在海內(nèi)外27條生產(chǎn)線上高質(zhì)量、穩(wěn)定地生產(chǎn)了4000多萬片晶圓；在臺積電的研發(fā)線上正在開發(fā)和核準(zhǔn)5納米刻蝕。

集成電路是所有產(chǎn)業(yè)中應(yīng)用材料純度最高的產(chǎn)業(yè)。“我們研制出了拋光劑和濺射靶材等上百種關(guān)鍵材料，并通過大生產(chǎn)線考核進(jìn)入批量銷售。這些成果基本覆蓋了我國集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈體系，扭轉(zhuǎn)了之前工藝技術(shù)全套引進(jìn)的被動局面，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展打下了堅實基礎(chǔ)?！比~甜春說。

建立協(xié)同發(fā)展新模式

集成電路裝備專項通過市場機(jī)制打通了科技與經(jīng)濟(jì)的連接通道，建立科技、產(chǎn)業(yè)、金融與區(qū)域經(jīng)濟(jì)有效協(xié)同的新模式

“集成電路裝備專項取得了一系列技術(shù)成果，但更重要的成果是，專項通過積極探索，推動構(gòu)建了市場經(jīng)濟(jì)下的新型舉國體制?！睂ｍ棇嵤┕芾磙k公室負(fù)責(zé)人、北京市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會主任張伯旭說。