同時(shí),根據(jù)Yole的說(shuō)法,與10年前相比,意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics),德州儀器(Texas Instruments)和惠普(Hewlett Packard)市場(chǎng)份額大有縮減之勢(shì),而TDK則按照自己的步伐發(fā)展。
MEMS代工廠格局:中國(guó)賽微電子控股的代工廠榮登第一
將代工廠用于MEMS的半導(dǎo)體時(shí)代已經(jīng)開始。2018年MEMS代工市場(chǎng)為4.9億美元,2019年增長(zhǎng)了5%,達(dá)到5.1億美元。MEMS代工主要有兩種類型:IDM廠商提供的MEMS代工,以及獨(dú)立代工廠提供的MEMS代工。其中,獨(dú)立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。
全球領(lǐng)先的純MEMS代工廠有Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Paci?c Microsystems、X-FAB、Innovative Micro Technology等。臺(tái)積電是全球最大的晶圓代工廠,其MEMS代工業(yè)務(wù)也排在行業(yè)前列。目前,提供MEMS代工的IDM廠商主要有ST、索尼、TI等。根據(jù)Yole發(fā)布的2019 MEMS foundry排名情況來(lái)看,與2018年還是有很大變化的。
2019年的MEMS Foundry銷售額排行榜。一般情況下,MEMS Foundry也兼具半導(dǎo)體Foundry的功能,此處僅僅是MEMS Foundry的銷售額統(tǒng)計(jì)。(圖片出自:Yole Développement)
2018年的MEMS Foundry銷售額排行榜(圖片出自:Yole Développement)
首先可喜可賀的是,Top1是中國(guó)的賽微電子(原耐威科技)控股公司Silex Microsystems,2018年Silex Microsystems排在第四位。自2000年成立以來(lái),Silex一直是一家專門生產(chǎn)定制MEMS產(chǎn)品的制造商,并作為一家獨(dú)立的MEMS代工廠運(yùn)營(yíng)。Silex擁有世界上第一個(gè)專用的8英寸純MEMS代工廠。
2015年7月13日,香港投資控股公司GAE Ltd.收購(gòu)了Silex 98%的股份。因此,GAE已獲得對(duì)Silex的實(shí)際控制權(quán),而GAE的背后則是賽微電子(原來(lái)中國(guó)的耐威科技),獲得對(duì)Silex的控股后,賽微電子在北京建設(shè)了MEMS晶圓代工廠,以擴(kuò)大該公司的產(chǎn)能。Silex在瑞典擁有6英寸和8英寸晶圓廠,并在瑞典投資1200萬(wàn)美元進(jìn)行了升級(jí)。Silex的優(yōu)勢(shì)在于使用其自有的硅通孔(TSV)技術(shù),Silex還使用鋯鈦酸鉛作為壓電材料,用于能量收集等新型應(yīng)用。
變化較大的是ST和格芯,18年ST排在Foundry第一位,這次跌到了第13位;格芯19年賣掉了8寸MEMS工廠,退出了MEMS業(yè)務(wù),2018年格芯排在第七位,這次已不在席列。
排名第二的Teledyne DALSA和第三Sony未發(fā)生變化,臺(tái)積電由2018年的第五上升到了第四位,X-FAB上升了一位排在第五,Asia Paci?c Microsystems從2018年的第10進(jìn)入第7,羅姆由第8跌到第15位。
國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)縮影:產(chǎn)業(yè)鏈初具規(guī)模
最近幾年,國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)過(guò)政府和企業(yè)的共同努力,已經(jīng)形成從設(shè)計(jì)研發(fā)(中試)、生產(chǎn)制造、封裝測(cè)試到系統(tǒng)集成的完整MEMS產(chǎn)業(yè)鏈條。
在科研領(lǐng)域有蘇州納米科技、上海微技術(shù)工業(yè)研究院、中國(guó)科學(xué)院電子所等等;設(shè)計(jì)業(yè)也涌現(xiàn)了一大批優(yōu)秀的企業(yè),如擠進(jìn)全球前十的歌爾股份、前兩天科創(chuàng)板上市的敏芯股份、瑞聲科技、共達(dá)電聲,還有部分初創(chuàng)MEMS公司已經(jīng)崢嶸初現(xiàn),如華景傳感、明皜傳感、深迪半導(dǎo)體、通用微,也包括如士蘭微、韋爾股份的傳統(tǒng)型集成電路廠商,還有格科微電子、矽睿科技、芯奧微、美新半導(dǎo)體、青島元芯、華美澳通、無(wú)錫納微電子、士蘭微等等;MEMS代工企業(yè)也越來(lái)越專業(yè),如中芯國(guó)際、上海先進(jìn)、華潤(rùn)上華、罕王微電子、賽微電子(原耐威科技)等;封測(cè)企業(yè)中包括長(zhǎng)電科技、晶方科技、華天科技;系統(tǒng)集成應(yīng)用商包括華為、比亞迪、??低?、中興等。
在MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域,四大中國(guó)廠商包括歌爾股份、瑞聲科技、共達(dá)電聲、敏芯股份合計(jì)市場(chǎng)份額高達(dá)48%,幾乎占據(jù)全球MEMS麥克風(fēng)市場(chǎng)的半壁江山!根據(jù)IHSMarkit的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),敏芯股份MEMS麥克風(fēng)2016年出貨量全球排名第六,2017年全球排名第五,2018年全球排名第四。
2017~2019年全球領(lǐng)先的MEMS麥克風(fēng)廠商營(yíng)收(來(lái)源:麥姆斯咨詢)
目前,在國(guó)內(nèi)涉足MEMS的公司中有不少龍頭企業(yè),歌爾股份和敏芯股份是MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域的龍頭,賽微電子是MEMS代工的龍頭,蘇奧傳感國(guó)內(nèi)汽車油量傳感器龍頭,蘇州固锝子公司的MEMS加速度傳感器銷量國(guó)內(nèi)名列前茅,華工科技是國(guó)內(nèi)家電溫度傳感器龍頭,漢威電子是國(guó)內(nèi)氣體傳感器龍頭,還有軍工MEMS的龍頭中航電測(cè)。