5月9日，由四川省科技廳推薦，四川云盾光電科技有限公司牽頭，并聯(lián)合四川大學共同承擔的國家重點研發(fā)計劃“智能傳感器”重點專項“基于氮化鋁鈧壓電諧振式MEMS微振鏡的小型化環(huán)境感知傳感器開發(fā)”項目在成都雙流正式啟動，并成功召開實施方案論證會。

會議邀請了華中科技大學段國韜教授、蘇州大學孫旭輝教授、電子科技大學陳懷新教授、電子科技大學李沫教授、中國科學院光電技術研究所嚴偉研究員、中國測試技術研究院湯江文正高級工程師等9名專家進行論證指導。

項目針對激光雷達精度偏低、垂直視野小、組件多、尺寸大難以滿足機器人工業(yè)安全領域對系統(tǒng)小型集成化和近距離高精度檢測需求問題，突破單微鏡雙軸大扭轉輸出及結構設計、微鏡元件穩(wěn)定控制、基于涂層技術的高可靠性微鏡制備等關鍵技術，開發(fā)小體積、高頻、大驅動角、低成本微鏡元件，研制小型化振鏡式準固激光雷達系統(tǒng)，在零件拾取、避障、防碰等機器人工業(yè)安全領域應用中實現(xiàn)技術驗證。專家組聽取了項目組實施方案匯報，經(jīng)質(zhì)詢討論，認為實施方案科學合理，路線具體明確，項目牽頭單位職責明確，各項機制齊全，具有較強的可實施和可操作性，一致建議通過該實施方案。項目的成功實施將推動微鏡核心敏感元件的國產(chǎn)化和工業(yè)應用。

云盾光電是位于成都市雙流區(qū)西航港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的國家高新技術企業(yè)、四川省“專精特新”企業(yè)，主要為高可靠級應用場景及半導體裝備行業(yè)提供關鍵部組件及分系統(tǒng)，包括高精度光電位移傳感器、空心杯伺服電機、集成化高精度光電伺服轉臺及運動控制裝備。2024年獲批成都市中試平臺（MEMS 及微光學器件產(chǎn)業(yè)領域），為行業(yè)提供微光機電系統(tǒng)集成服務。