熟悉微電子工藝設(shè)備的人都知道，射頻源（RFGENERATER）是半導(dǎo)體工藝不可缺少的設(shè)備，其主要應(yīng)用于等離子體干法刻蝕設(shè)備。其原理是刻蝕氣體（主要是F基和C1基的氣體）通過氣體流量控制系統(tǒng)通進(jìn)反應(yīng)腔室，在高頻電場（頻率通常為13.56MHz）作用下產(chǎn)生輝光放電，負(fù)氣體分子或原子發(fā)生電離，形成等離子體。等離子體是包含足夠多的正負(fù)電荷數(shù)目近于相等的帶電粒子的非凝聚系統(tǒng)。而射頻源正是產(chǎn)生高頻電場的核心設(shè)備。
目前市場上，一臺新的干法刻蝕設(shè)備使用的射頻源售價(jià)大概在1萬美金左右，而維修一臺射頻源的用度一般也要1萬元人民幣以上，可見其用度相當(dāng)昂貴。本著節(jié)約成木的原則，本單位對在使用中出現(xiàn)故障的射頻源進(jìn)行自主維修。為了檢驗(yàn)維修后該射頻源是否可以滿足使用要求，根據(jù)其使用原理及其控制信號的輸進(jìn)、輸出情況，自發(fā)研制了射頻源遠(yuǎn)控收發(fā)信號模擬器。該設(shè)備研制成功后，改變了以往射頻源維修后必須上機(jī)調(diào)試的狀況，從而實(shí)現(xiàn)了脫機(jī)調(diào)試，達(dá)到了省時(shí)省力、節(jié)約本錢的目的。
設(shè)計(jì)方案
為了達(dá)到對射頻源脫機(jī)調(diào)試的目的，主要是實(shí)現(xiàn)模擬原設(shè)備主機(jī)PRMOTE控制功能，包含以下幾點(diǎn)：
（1）對射頻源是否開啟的判定;
（2）對連鎖功能（interlock）的判定;
（3）對射頻源輸出功率的設(shè)定;
（4）對射頻源正向功率的丈量;
（5）對射頻源反向功率的丈量。
首先對面板進(jìn)行設(shè)計(jì)，參照射頻源面板的主體結(jié)構(gòu)，結(jié)合實(shí)際功能要求，面板外觀見圖1。
