中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員尤立星團(tuán)隊(duì)利用無(wú)損介質(zhì)鏡面結(jié)合三明治結(jié)構(gòu)超導(dǎo)納米線(xiàn)，實(shí)現(xiàn)了NbN材料超導(dǎo)納米線(xiàn)單光子器件（SNSPD）98%的探測(cè)效率，再次創(chuàng)造了NbN SNSPD探測(cè)效率的新的世界紀(jì)錄。

100%系統(tǒng)探測(cè)效率（SDE）是單光子探測(cè)器發(fā)展的最終目標(biāo)，在量子基礎(chǔ)理論驗(yàn)證和量子信息科技中具有應(yīng)用價(jià)值。SNSPD憑借高探測(cè)效率、低暗計(jì)數(shù)、低時(shí)間抖動(dòng)等性能指標(biāo)，在量子通信、量子計(jì)算、深空光通信、生物熒光成像等領(lǐng)域發(fā)揮重要作用，推動(dòng)了量子信息技術(shù)和其他前沿科學(xué)的發(fā)展。對(duì)SNSPD來(lái)說(shuō)，實(shí)現(xiàn)100%效率的關(guān)鍵難點(diǎn)在于，需同時(shí)實(shí)現(xiàn)接近100%的本征探測(cè)效率和吸收效率。由于二者之間的糾纏制衡關(guān)系，相比于其他低Tc的超導(dǎo)材料（如WSi），高Tc的NbN材料SNSPD實(shí)現(xiàn)高SDE的難度更大。2017年，研究人員通過(guò)工藝優(yōu)化，首次報(bào)道了基于小型閉合循環(huán)制冷機(jī)，2.1 K工作溫度下，NbN-SNSPD系統(tǒng)探測(cè)效率（1550 nm工作波長(zhǎng)）可超過(guò)90%；2019年，研究人員發(fā)明了離子注入等手段，首次打破了NbN本征探測(cè)效率和吸收效率的制衡關(guān)系，再次實(shí)現(xiàn)了90%探測(cè)效率SNSPD器件，為極限效率探測(cè)研究奠定基礎(chǔ)。

近期，經(jīng)過(guò)系統(tǒng)分析，研究團(tuán)隊(duì)提出了無(wú)損介質(zhì)鏡面加三明治超導(dǎo)納米線(xiàn)的器件架構(gòu)，再次打破了NbN SNSPD器件的本征探測(cè)響應(yīng)和光學(xué)吸收效率的制衡關(guān)系，實(shí)現(xiàn)了兩者的同時(shí)提升。在0.8 K工作溫度，1590 nm波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)了98%的系統(tǒng)探測(cè)效率，在1530-1630 nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的系統(tǒng)效率超過(guò)95%。該類(lèi)型的探測(cè)器還顯示出對(duì)多種參數(shù)的魯棒性，例如，在2.1 K溫度下，同一批次制造的45個(gè)探測(cè)器，SDE大于80%（90%）的產(chǎn)率達(dá)73%（36%），對(duì)批量生產(chǎn)及商業(yè)化應(yīng)用具有實(shí)際意義。

圖1 （a）器件架構(gòu)示意圖；（b）傳統(tǒng)單層納米線(xiàn)與本文中的三明治結(jié)構(gòu)納米線(xiàn)；（c）器件光子響應(yīng)和光學(xué)吸收的制衡關(guān)系

圖2 （a）器件效率隨偏置電流變化關(guān)系；（b）器件在不同波段下的探測(cè)效率和仿真結(jié)果

相關(guān)研究成果以Detecting single infrared photons toward optimal system detection efficiency（《最優(yōu)效率紅外單光子探測(cè)》）為題，在線(xiàn)發(fā)表在Optics Express上，博士研究生胡鵬為論文第一作者，副研究員李浩和尤立星為論文的通訊作者。研究工作得到國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目“高性能單光子探測(cè)技術(shù)”、國(guó)家自然科學(xué)基金、上海市科委量子專(zhuān)項(xiàng)、上海市啟明星、上海市優(yōu)秀學(xué)術(shù)帶頭人、中科院青年創(chuàng)新促進(jìn)會(huì)等的支持。