隨著貿(mào)易摩擦日益加重，由此引發(fā)的中美科技之爭給世界分工帶來了巨大沖擊。宏觀來看，“十四五”規(guī)劃文件牽引、地方政策支持、國產(chǎn)采購傾斜、支持國產(chǎn)儀器發(fā)展已經(jīng)成為政府、市場以及公眾的共識。巨浪之下，國產(chǎn)儀器如何發(fā)展？如何打破壟斷、解決“卡脖子”難題？

近兩年，北京市“專精特新”企業(yè)北京萊伯泰科儀器股份有限公司（股票代碼：688056.SH，以下簡稱“萊伯泰科”）的發(fā)展駛?cè)肟燔嚨?，公司?020年成功登陸科創(chuàng)板，讓更多行業(yè)外的人士知道了什么是實驗分析儀器行業(yè)；緊接著又在2021年發(fā)布質(zhì)譜新品，強勢進軍高端分析儀器領(lǐng)域，以發(fā)展高端儀器產(chǎn)業(yè)、助力中國制造騰飛為己任，銳意突破，不斷進行產(chǎn)品革新。我們知道，發(fā)展國產(chǎn)高端分析儀器的道路必定不易，萊伯泰科創(chuàng)始人胡克博士是如何看待并規(guī)劃的呢？

1、高端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，離不開尖端分析儀器

分析儀器，被稱作科學(xué)家的“眼睛”，也被比喻為高端制造業(yè)皇冠上的明珠，是制造業(yè)發(fā)展中的咽喉行業(yè)。儀器儀表行業(yè)單從生產(chǎn)規(guī)模來講，算不上大行業(yè)，但是它的重要性和戰(zhàn)略性不能簡單以生產(chǎn)規(guī)模來衡量。中國光學(xué)和儀器儀表及計量科教事業(yè)的奠基人之一、兩院院士王大珩曾經(jīng)指出，儀器儀表是認識未知世界的科學(xué)工具，也是控制生產(chǎn)過程的工具，是工業(yè)生產(chǎn)的“倍增器”。在制造業(yè)中，想要生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品，從原料控制到成品質(zhì)量控制，都需要儀器儀表進行測量。在高端產(chǎn)業(yè)中，要生產(chǎn)出尖端的產(chǎn)品，更是離不開最尖端的分析儀器，并且產(chǎn)業(yè)越高端，對于分析儀器的要求就會越嚴格，近乎苛刻。

近幾年來，隨著我國產(chǎn)業(yè)升級速度的加快，各行各業(yè)對于高端分析儀器的需求亦不斷增長。我們僅以理化分析儀器及裝備（包含質(zhì)譜）的進口額為例，從2017年到2021年，我國每年的進口額都在600億元左右，而且逐年穩(wěn)步增長，即便是疫情期間也絲毫未受影響。

我國儀器儀表發(fā)展規(guī)模雖然不斷擴大，但是一直存在基礎(chǔ)研究薄弱、產(chǎn)品可靠性和穩(wěn)定性低、以中低端產(chǎn)品為主等問題，高端儀器儀表、核心零部件等長期依賴進口。我國儀器儀表產(chǎn)品一直處于進出口貿(mào)易逆差的狀態(tài)，逆差每年都在150億美元以上，是機械制造業(yè)中逆差最大的行業(yè)之一。

2、國產(chǎn)儀器在半導(dǎo)體行業(yè)舉步維艱

目前我國各行業(yè)中使用的質(zhì)譜類儀器，幾乎全部依賴進口。尤其是自中美貿(mào)易戰(zhàn)以來全國上下共同關(guān)注的半導(dǎo)體行業(yè)，檢測中必須具備的電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICP-MS幾乎百分之百來自于進口品牌。雖然國家在多個層面支持國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的自主創(chuàng)新發(fā)展，然而，半導(dǎo)體行業(yè)中所用ICP-MS全面依賴進口依然是個不爭的事實。

在半導(dǎo)體行業(yè)中，ICP-MS被廣泛應(yīng)用于高純材料、高純化學(xué)品以及生產(chǎn)過程中雜質(zhì)含量的監(jiān)控。從應(yīng)用角度來講，半導(dǎo)體行業(yè)需要同時檢測的元素范圍非常廣。因為無機元素雜質(zhì)會對集成電路造成危害，比如堿金屬與堿土金屬（Li、Na、K、Ca、Mg、Ba等）污染會造成元器件漏電，造成低擊穿；過渡金屬與重金屬（Fe、Cr、Ni、Cu、Au、Mn、Pb）污染會增大工作時的暗電流進而縮短元器件壽命；滲透元素（S、P、Si、As、Sb、B、Al等）污染具有擴散作用，會影響電子和空穴的數(shù)量。除了需同時檢測輕、中、重元素外，隨著集成電路對線寬的要求越來越嚴苛，對濕電子化學(xué)品的要求也越來越高，對有害粒子含量要求從10-6（ppm）發(fā)展到了10-9（ppb）甚至10-12（ppt），因此半導(dǎo)體行業(yè)需要檢測儀器具有極高的靈敏度。

由于行業(yè)具有的特殊性，半導(dǎo)體行業(yè)對ICP-MS儀器本身也具有極高的準入門檻要求，從儀器性能到儀器的安全可靠性，都有極為嚴格的規(guī)定。

首先，在儀器性能方面，ICP-MS必須做到從Li到Pb，從輕元素、中元素到重元素的快速檢測；能到達ppt級別的檢出能力；針對高Si基體樣品檢測時的長期穩(wěn)定性和重現(xiàn)性，每周7*24小時不間斷運行；特殊情況下需要儀器冷焰、熱焰快速穩(wěn)定切換，高通量多元素準確檢出；對整機及內(nèi)部部件的潔凈度、耐腐蝕性要求極高等等。

其次，半導(dǎo)體行業(yè)對ICP-MS的安全可靠性方面也有著特別的要求。ICP-MS首先必須通過半導(dǎo)體工業(yè)的全球執(zhí)行聯(lián)盟（SEMI）的SEMI S2認證，這是一套適用于半導(dǎo)體及平面顯示器制造設(shè)備的環(huán)境、安全及健康的效能的標準，半導(dǎo)體業(yè)者為了降低機械危害的風(fēng)險，在采購設(shè)備系統(tǒng)時，將 SEMI S2 安規(guī)認證列為必備的規(guī)格要求。另一方面，半導(dǎo)體制造企業(yè)在水、電、氣、化學(xué)溶劑、真空射頻、微波、射線和高能粒子等方面也都提出了更高的要求。