11月15日深圳市智能傳感器產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟日前在深圳市光明區(qū)成立，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金也將落地。40家產(chǎn)業(yè)基金、重大平臺、重點項目與光明區(qū)簽署合作協(xié)議，將共同推進“深圳市智能傳感器中試熟化與產(chǎn)業(yè)化示范區(qū)”“粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展的先鋒區(qū)”“全球智能傳感器核心技術的重要策源地”建設。

據(jù)相關負責人介紹，設立智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金旨在對總投資不低于1億元的新建設智能傳感器晶圓生產(chǎn)線的企業(yè)，按經(jīng)評審核定的項目固定資產(chǎn)實際投資額的20%予以資助，單個項目資助金額最高可達5000萬元。

深圳市光明區(qū)有良好的產(chǎn)學研制基礎和產(chǎn)業(yè)需求支撐，聚集了諾安環(huán)境、紐迪瑞科技、森世泰科技、美思先端4家規(guī)上工業(yè)企業(yè)，培育了歐菲光（002456）、信泰光學等龍頭企業(yè)。2021年，光明區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)工業(yè)產(chǎn)值約7億元。

值得關注的是，光明區(qū)還宣布將規(guī)劃建設一條總投資15.33億元、產(chǎn)能達3000片的8吋MEMS中試線。該項目具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺，可以幫助相關中小企業(yè)實現(xiàn)從MEMS工藝研發(fā)、中試到小規(guī)模量產(chǎn)的無縫對接。同時，對利用光明區(qū)MEMS中試平臺流片的企業(yè)，產(chǎn)業(yè)基金將按首次流片費用的60%，給予每家企業(yè)每年最高600萬元的資助。

據(jù)了解，當前，光明區(qū)正依托鵬城實驗室、中科院深圳先進院等科研機構，打造了異質(zhì)異構硅基光子芯片工藝平臺、高端科研儀器研究中心等創(chuàng)新平臺，為企業(yè)突破光電子芯片技術瓶頸提供關鍵支撐。

下一步，光明區(qū)將聚焦智能傳感器設計、制造等環(huán)節(jié)，加快核心智能傳感器、特色工藝、先進封裝技術、關鍵材料等領域攻關，爭取到2025年產(chǎn)值突破100億元，占深圳市總規(guī)模的25%左右。