我大學(xué)一畢業(yè)就有幸參與了我國(guó)首臺(tái)1.5-2微米光刻機(jī)的研制攻關(guān)。眾所周知，光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造“皇冠上的明珠”，也是所有集成電路制造設(shè)備中技術(shù)含量最高的設(shè)備，包含上萬(wàn)個(gè)零部件，集合了數(shù)學(xué)、光學(xué)、流體力學(xué)、高分子物理與化學(xué)、表面物理與化學(xué)、精密儀器、機(jī)械、自動(dòng)化、軟件、圖像識(shí)別領(lǐng)域等等頂尖技術(shù)，其工藝水平直接決定芯片制程和性能。

加入團(tuán)隊(duì)時(shí)，正是設(shè)備工藝調(diào)試的緊要關(guān)頭。像這種高端精密裝備，安裝調(diào)試需要在超高潔凈的環(huán)境中，必須穿上潔凈服，為了節(jié)約時(shí)間，我們常常一呆就是一天半宿。凈化間常年恒溫，夏天只是坐著就汗流浹背，還要聚精會(huì)神調(diào)試參數(shù)，一絲不茍記錄研討，老一輩強(qiáng)烈愛(ài)國(guó)情懷和執(zhí)著科研追求，在我內(nèi)心深處產(chǎn)生強(qiáng)烈震撼，也成為我對(duì)自己的要求。

這幾年來(lái)，集成電路高端裝備自主創(chuàng)新需求迫切，我的心中一團(tuán)火也在熊熊燃燒?！氨仨毧焖偻黄坪诵募夹g(shù)，這是國(guó)家需要”，這個(gè)信念每一分每一秒都在鞭策我們，快點(diǎn)、再快點(diǎn)。立足國(guó)家戰(zhàn)略急需，我們?nèi)找棍閼?zhàn)，反復(fù)細(xì)推，確保集成電路核心裝備等多個(gè)重大項(xiàng)目立項(xiàng)啟動(dòng)。近40年來(lái)，我更加篤定，我們從事的國(guó)產(chǎn)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的自主化道路，是極其艱辛的，更是極其偉大的，我愿意繼續(xù)發(fā)揮著一個(gè)老兵的作用，在這個(gè)道路上為國(guó)家貢獻(xiàn)所有的力量。

記者：您認(rèn)為我們?cè)撊绾瓮卣辜呻娐奉I(lǐng)域的發(fā)展空間?

中國(guó)電科首席科學(xué)家王志越：關(guān)鍵技術(shù)是維護(hù)國(guó)家安全、保障經(jīng)濟(jì)發(fā)展的基礎(chǔ)核心能力，要全力加快原創(chuàng)性引領(lǐng)性技術(shù)攻關(guān)。按照半導(dǎo)體裝備技術(shù)體系發(fā)展路線，我認(rèn)為應(yīng)該向超越摩爾的微系統(tǒng)集成應(yīng)用、第三代半導(dǎo)體、新一代光/量子芯片等前沿技術(shù)領(lǐng)域探索，攻克材料制備、芯片制造和封裝測(cè)試等制造工藝核心技術(shù)。

集成電路領(lǐng)域是典型的資金密集型、技術(shù)密集型、人才密集型產(chǎn)業(yè)，目前我們布局的攻關(guān)任務(wù)都是產(chǎn)業(yè)鏈上的關(guān)鍵核心裝備，其重要程度、艱難程度可想而知。

我們要不斷完善技術(shù)體系、豐富產(chǎn)品體系、拓展應(yīng)用體系，從源頭上狠抓理論基礎(chǔ)和工程化應(yīng)用，找準(zhǔn)堵點(diǎn)、卡點(diǎn)、痛點(diǎn)，聯(lián)合國(guó)內(nèi)上下游資源協(xié)同攻關(guān)，成體系布局材料、芯片、封裝等核心裝備，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體裝備自主創(chuàng)新發(fā)展。要深入貫徹以需求為牽引、問(wèn)題為導(dǎo)向，以企業(yè)為主體、產(chǎn)學(xué)研用緊密合作的發(fā)展理念，建立研發(fā)資金持續(xù)投入機(jī)制，在國(guó)家重大科技項(xiàng)目的持續(xù)支持下，統(tǒng)籌利用國(guó)家、企業(yè)、社會(huì)資本等多方面資金，持續(xù)加強(qiáng)半導(dǎo)體裝備前沿技術(shù)和共性技術(shù)研發(fā)投入，完善技術(shù)研發(fā)平臺(tái)和試驗(yàn)驗(yàn)證平臺(tái)，促進(jìn)半導(dǎo)體裝備向研發(fā)設(shè)計(jì)正向化、核心技術(shù)自主化、裝備工藝一體化、集成創(chuàng)新協(xié)同化發(fā)展。

來(lái)源/光明日?qǐng)?bào) 中國(guó)日?qǐng)?bào) 編輯/尚素娟 校對(duì)/何爽