2010年，微納園依托華潤上華，建設(shè)MEMS公共技術(shù)服務(wù)平臺(tái)，是國內(nèi)首條與CMOS工藝線和MEMS規(guī)模制造線無縫對(duì)接的MEMS研發(fā)生產(chǎn)和測試平臺(tái)。使無錫形成國內(nèi)首個(gè)具備設(shè)計(jì)、加工和測試服務(wù)能力的較為完備的MEMS公共技術(shù)平臺(tái)，集聚了一批具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS傳感器研發(fā)機(jī)構(gòu)和企業(yè)。
2021年微納園產(chǎn)值130億元，稅收7.3億元，高新技術(shù)企業(yè)103家，上市籌備企業(yè)12家。擁有中芯國際、華潤上華、長電科技等重點(diǎn)企業(yè)，江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心、新加坡南洋理工大學(xué)MEMS研究中心、華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心等研究機(jī)構(gòu)。
代表性企業(yè)：
華潤微電子（已上市）
華潤微電子是中國MEMS十強(qiáng)企業(yè)，IDM公司同時(shí)擁有MEMS晶圓代工業(yè)務(wù)，擁有3條6英寸線，其中MEMS產(chǎn)線是國內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，具有國內(nèi)領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。
錫產(chǎn)微芯
無錫本地IDM龍頭企業(yè)，錫產(chǎn)微芯在意大利擁有8寸晶圓生產(chǎn)線（LFoundry，從中芯國際收購），涉及CMOS圖像傳感器、智能電力、輕觸式顯示屏及嵌入式存儲(chǔ)器等設(shè)計(jì)、生產(chǎn)。2022年錫產(chǎn)微芯以超百億元，收購荷蘭Ampleon ，躍升全球第二大移動(dòng)基站射頻廠商。
上海：中國最早發(fā)布智能傳感器一攬子扶持政策的城市
上海是中國當(dāng)之無愧的半導(dǎo)體第一城，上海在上世紀(jì)80年代就布局芯片產(chǎn)業(yè)，2000年中芯國際在上海成立，大批半導(dǎo)體設(shè)計(jì)企業(yè)以及制造線集中與此。
發(fā)展智能傳感器，上海走在前列，是全國最早發(fā)布智能傳感器產(chǎn)業(yè)一攬子政策的城市，早在2019年，上海嘉定發(fā)布39條智能傳感器產(chǎn)業(yè)扶持政策，明確到2025年，嘉定以智能傳感器芯片為核心的的智能硬件相關(guān)產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值突破千億元。
上海嘉定是上海集成電路產(chǎn)業(yè)“一體兩翼”規(guī)劃布局中的“北翼”，打造智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈，在上海嘉定工業(yè)區(qū)擁有全國首條MEMS 8寸“超越摩爾”研發(fā)中試線和國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線，可幫助企業(yè)盡快實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)。
在上海嘉定，2016年中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟成立，中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟相繼舉辦了Sensor China、Sensor Shenzhen等行業(yè)重要展覽、會(huì)議；2018年國家智能傳感器創(chuàng)新中心成立，這是我國唯一一個(gè)智能傳感器國家級(jí)創(chuàng)新中心，2019年上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園成立。
上海嘉定是全國TOP3的智能傳感器產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)，上海擁有眾多智能傳感器設(shè)計(jì)、封測、制造企業(yè)，以及中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所等多個(gè)國家級(jí)智能傳感器研究機(jī)構(gòu)。
代表性企業(yè)：
韋爾股份（已上市）
中國最大傳感器企業(yè)，中國圖像傳感器龍頭企業(yè)，世界第三大圖像傳感器公司。
格科微（已上市）
中國第二大圖像傳感器企業(yè)，CMOS圖像傳感器出貨量全球第一，正在籌建12 英寸 CIS 芯片產(chǎn)線，企業(yè)模式將從Fabless向Fablite轉(zhuǎn)變。
思特威（已上市）
中國第三大圖像傳感器企業(yè)，安防監(jiān)控領(lǐng)域圖像傳感器出貨量第一。
燦瑞科技（已上市）
國內(nèi)領(lǐng)先的磁傳感器及高性能數(shù)模混合芯片研發(fā)公司，2022年上交所科創(chuàng)板上市。
矽睿科技
中國MEMS十強(qiáng)企業(yè)，是我國磁傳感器、慣性傳感器領(lǐng)先廠商。
此外，上海還有深迪半導(dǎo)體、蘭寶傳感、禾賽科技、思立微、申矽凌、艾絡(luò)格、艾普柯微、燁映微等等眾多知名傳感器企業(yè)。
蚌埠：老牌傳感器生產(chǎn)基地，智能傳感器為四大產(chǎn)業(yè)集群之一
主要政策：《中國（蚌埠）智能傳感谷產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃（2021-2030）》
