近日，廣州五所環(huán)境儀器有限公司牽頭主持的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)“半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測(cè)試儀”項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)暨實(shí)施方案論證會(huì)在電子五所廣州增城總部順利召開(kāi)。項(xiàng)目專家組7位專家現(xiàn)場(chǎng)出席會(huì)議，工業(yè)和信息化部高新技術(shù)司未來(lái)產(chǎn)業(yè)處和項(xiàng)目管理單位中國(guó)21世紀(jì)議程管理中心領(lǐng)導(dǎo)，電子五所黨委書(shū)記恩云飛、有關(guān)部門負(fù)責(zé)人，項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、各課題負(fù)責(zé)人與項(xiàng)目組骨干等40余人參加了此次會(huì)議。

圖1 項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)暨實(shí)施方案論證會(huì)會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)

本項(xiàng)目匯聚了工業(yè)和信息化部電子第五研究所、廣州五所環(huán)境儀器有限公司、博測(cè)銳創(chuàng)半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司、中國(guó)科學(xué)院電工研究所、合肥工業(yè)大學(xué)、西安交通大學(xué)、電子科技大學(xué)、北京智芯微電子有限公司等八家高校、研究所和重點(diǎn)企業(yè)的優(yōu)秀研究人員，我所重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室陳媛研究員任項(xiàng)目負(fù)責(zé)人。半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測(cè)試儀是對(duì)半導(dǎo)體功率器件進(jìn)行電學(xué)性能參數(shù)測(cè)試的硬件和軟件一體化的設(shè)備。隨著我國(guó)電動(dòng)汽車、軌道交通、電網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)高性能和高效能的半導(dǎo)體功率器件特別是SiC、GaN、Ga2O3等寬禁帶半導(dǎo)體器件有著巨大的需求，寬禁帶半導(dǎo)體功率器件具有擊穿電壓更高、電流能力更強(qiáng)、開(kāi)關(guān)速度更快等工作特點(diǎn)，對(duì)半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測(cè)試儀的性能指標(biāo)提出了更高的要求。目前，國(guó)外kV/kA級(jí)的半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測(cè)試儀主要被美國(guó)、日本等國(guó)外廠商所壟斷，國(guó)內(nèi)部分廠家近年來(lái)也開(kāi)始自主研發(fā)生產(chǎn)，但儀器的性能指標(biāo)、精度水平、可靠性及穩(wěn)定性普遍落后于國(guó)外儀器。本項(xiàng)目旨在開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國(guó)產(chǎn)化的半導(dǎo)體功率器件多參數(shù)綜合測(cè)試儀，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代。

此次會(huì)議圓滿落幕之后，各承研單位之間將更加緊密地合作，實(shí)現(xiàn)優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，協(xié)調(diào)共進(jìn)，力求高質(zhì)量完成項(xiàng)目各項(xiàng)研究任務(wù)。

圖2  項(xiàng)目組向?qū)＜医M介紹綜合測(cè)試儀的原型樣機(jī)

圖3  項(xiàng)目啟動(dòng)會(huì)暨實(shí)施方案論證會(huì)合影