【儀器儀表商情網(wǎng) 計(jì)量動(dòng)態(tài)】日前，電工研究所聯(lián)合中國計(jì)量科學(xué)院、國家納米科學(xué)技術(shù)中心共同研制成功國內(nèi)首套可溯源計(jì)量型掃描電子顯微鏡。
電工所在高分辨力場發(fā)射掃描電子顯微鏡的基礎(chǔ)上，加裝激光干涉儀測距的納米級高精度位移臺(tái), 并提出了采用步進(jìn)掃描代替?zhèn)鹘y(tǒng)電子束掃描的圖像獲取的創(chuàng)新方法。該方法可直接關(guān)聯(lián)圖像掃描與激光干涉儀的位置測量，實(shí)現(xiàn)對樣品納米結(jié)構(gòu)掃描成像的量值溯源，有效減少電子束掃描成像過程中放大倍率波動(dòng)和掃描線圈非線性特征在納米尺度測量中產(chǎn)生的誤差，從而實(shí)現(xiàn)對樣品納米結(jié)構(gòu)的溯源測量。
該設(shè)備的研制成功對我國納米尺度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的制定、掃描電子顯微鏡及其它納米尺寸測量儀器的校準(zhǔn)、納米標(biāo)樣和標(biāo)物的校準(zhǔn)、參與國際長度比對等方面將起到重要作用。
