“跨尺度微納米測(cè)量儀的開發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目于2014年10月正式獲得國家科技部批準(zhǔn)立項(xiàng)。由上海計(jì)測(cè)工程設(shè)備監(jiān)理有限公司牽頭，上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院提供技術(shù)支撐?？偨?jīng)費(fèi)7681萬元，其中中央財(cái)政專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)投入3731萬元，截止日期為2018年10月。屆時(shí)，該項(xiàng)目將形成年產(chǎn)50臺(tái)生產(chǎn)能力，累計(jì)銷售收入5000萬元。

立項(xiàng)目的是為突破我國在微納米檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域檢測(cè)方法集成開發(fā)的諸多技術(shù)瓶頸，攻克宏微聯(lián)動(dòng)多軸驅(qū)動(dòng)和多測(cè)頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關(guān)鍵技術(shù)，研制用于計(jì)量、工業(yè)生產(chǎn)、產(chǎn)品檢測(cè)中微形貌和幾何尺寸測(cè)量的微納米測(cè)量儀，并構(gòu)建跨尺度、高精度微納米測(cè)量與研發(fā)平臺(tái)，為我國國防、航空航天、半導(dǎo)體制造業(yè)、微機(jī)電產(chǎn)業(yè)、大氣污染物防治等領(lǐng)域提供有效的納米計(jì)量技術(shù)的支持和保障，提升我國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中微納米尺寸定量化測(cè)量的技術(shù)水平。

此次中期檢查結(jié)果表明，“跨尺度微納米測(cè)量儀的開發(fā)和應(yīng)用”的研制進(jìn)程符合計(jì)劃任務(wù)書中的要求，已獲得成果跨尺度微納米測(cè)量儀1臺(tái)、核心關(guān)鍵部件3個(gè)以及新應(yīng)用方法6種；形成了質(zhì)量和可靠性保障方案2套，成套技術(shù)檔案文件3套；在研制過程中，發(fā)表論文32篇，申請(qǐng)國內(nèi)專利26項(xiàng)（已授權(quán)9項(xiàng)），申請(qǐng)并授權(quán)計(jì)算機(jī)軟件著作權(quán)2項(xiàng)，項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)使用合規(guī)。

在聽完研究成果匯報(bào)后，評(píng)估小組還在現(xiàn)場(chǎng)檢查了項(xiàng)目研發(fā)的樣機(jī)，獲得一致認(rèn)可。