近日，由武漢大學(xué)牽頭的國(guó)家重大儀器研制項(xiàng)目（部門(mén)推薦）“薄膜生長(zhǎng)缺陷跨時(shí)空尺度原位/實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與調(diào)控實(shí)驗(yàn)裝置”通過(guò)了國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)的現(xiàn)場(chǎng)考察。該項(xiàng)目提出研制薄膜生長(zhǎng)過(guò)程跨時(shí)空尺度原位/實(shí)時(shí)測(cè)量與調(diào)控實(shí)驗(yàn)裝置。建立的實(shí)驗(yàn)裝置將不僅有助于我國(guó)在薄膜生長(zhǎng)領(lǐng)域走到世界領(lǐng)先，直接為中國(guó)高端裝置的提升帶來(lái)跨越式發(fā)展，同時(shí)大大促進(jìn)物理、化學(xué)和生物等學(xué)科的發(fā)展。

據(jù)了解，薄膜生長(zhǎng)代表先進(jìn)制造重要發(fā)展方向，是芯片制造的基礎(chǔ)。中國(guó)缺“芯”，半導(dǎo)體裝備及芯片是中國(guó)的最大貿(mào)易赤字“大戶”。其物理化學(xué)過(guò)程跨越介觀到宏觀的空間尺度，飛秒到秒的時(shí)間尺度，缺陷機(jī)理留有許多空白。目前對(duì)于薄膜生長(zhǎng)過(guò)程的測(cè)量多限于宏觀量，對(duì)微觀過(guò)程進(jìn)行跨時(shí)空尺度測(cè)量追蹤還有巨大挑戰(zhàn)，從而缺乏對(duì)缺陷形成微觀機(jī)制有效分析和反饋調(diào)控。

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該項(xiàng)目依托武漢大學(xué)，由動(dòng)力與機(jī)械學(xué)院院長(zhǎng)、工業(yè)科學(xué)研究院執(zhí)行院長(zhǎng)劉勝教授牽頭，合作單位包括中科院半導(dǎo)體所、清華大學(xué)天津高端裝備研究院、中科院微電子所、華中科技大學(xué)和華南理工大學(xué)。

考察會(huì)上，竇賢康十分感謝國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)對(duì)武漢大學(xué)的大力支持，希望專(zhuān)家們能對(duì)項(xiàng)目多提寶貴意見(jiàn)，以幫助項(xiàng)目圓滿達(dá)到預(yù)期目標(biāo)。他表示，學(xué)校會(huì)在人才隊(duì)伍建設(shè)、跨學(xué)科研究生培養(yǎng)、實(shí)驗(yàn)室場(chǎng)地保障等各方面予以全力支持，以確保該項(xiàng)目順利實(shí)施。

劉勝代表項(xiàng)目組詳細(xì)介紹了項(xiàng)目的目標(biāo)、工作基礎(chǔ)及條件、研制計(jì)劃等。項(xiàng)目組成員還接受了考察專(zhuān)家組的現(xiàn)場(chǎng)提問(wèn)。在聽(tīng)取匯報(bào)和現(xiàn)場(chǎng)考察后，考察專(zhuān)家組認(rèn)為，該項(xiàng)目目標(biāo)明確、內(nèi)容合理、指標(biāo)先進(jìn)、技術(shù)路線可行。

系統(tǒng)的研制成功將實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜生長(zhǎng)中缺陷的產(chǎn)生進(jìn)行跨時(shí)空尺度的原位/實(shí)時(shí)測(cè)量，從而反饋調(diào)控以得到高品質(zhì)的薄膜，將有力地促進(jìn)我國(guó)在薄膜科學(xué)技術(shù)走向世界前列，可望在該領(lǐng)域取得一些原創(chuàng)性的成果。

國(guó)家重大科研儀器研制項(xiàng)目（原國(guó)家重大科研儀器設(shè)備研制專(zhuān)項(xiàng)項(xiàng)目），旨在面向科學(xué)前沿和國(guó)家需求，以科學(xué)目標(biāo)為導(dǎo)向，鼓勵(lì)和培育具有原創(chuàng)性思想的探索性科研儀器研制，著力支持原創(chuàng)性重大科研儀器設(shè)備研制，為科學(xué)研究提供更新穎的手段和工具，以全面提升我國(guó)的原始創(chuàng)新能力。

據(jù)了解，項(xiàng)目于2011年設(shè)立，由國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)負(fù)責(zé)組織實(shí)施與管理，分為部門(mén)推薦項(xiàng)目和自由申請(qǐng)項(xiàng)目2類(lèi)，部門(mén)推薦項(xiàng)目資助平均額度為8000萬(wàn)元，自由申請(qǐng)項(xiàng)目平均資助額度為500萬(wàn)元。