人類歷史上，3次技術(shù)革命都和計(jì)量測(cè)試技術(shù)的突破息息相關(guān)，計(jì)量測(cè)試科技成果對(duì)推動(dòng)其他科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展具有重要的促進(jìn)和引領(lǐng)作用。

激光干涉測(cè)量是實(shí)現(xiàn)超精密測(cè)控和微納尺度測(cè)量的最有效手段之一，是保障可溯源納米測(cè)量的重要途徑，也是邁向計(jì)量強(qiáng)國(guó)、制造強(qiáng)國(guó)不可或缺的關(guān)鍵計(jì)量測(cè)試技術(shù)。近日，由清華大學(xué)李巖、尉昊赟、吳學(xué)健、張弘元、張繼濤、趙世杰、朱敏昊、黃沛、任利兵、楊宏雷完成的“高測(cè)速多軸高分辨力激光干涉測(cè)量技術(shù)與儀器”項(xiàng)目獲得2018年度中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)。

該項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)針對(duì)光刻機(jī)工件臺(tái)超精密定位、基礎(chǔ)計(jì)量測(cè)量和高端儀器應(yīng)用中對(duì)激光干涉儀高動(dòng)態(tài)、高分辨力、跨尺度和可溯源等測(cè)量需求，深入開展測(cè)量原理、方法和測(cè)量系統(tǒng)儀器化中的共性科學(xué)技術(shù)問題研究，突破集成多軸干涉、信號(hào)解調(diào)和折射率補(bǔ)償?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)，形成全套自主的高性能激光干涉測(cè)量系統(tǒng)；提出系列可溯源至長(zhǎng)度或頻率基準(zhǔn)的激光干涉測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)不確定度為皮、納米量級(jí)的高精度測(cè)量；形成了系列知識(shí)產(chǎn)品成果，研究成果支撐了我國(guó)自主研發(fā)光刻機(jī)的高精度定位，激光測(cè)振儀的信號(hào)解調(diào)等應(yīng)用，并入選國(guó)家“十二五”科技創(chuàng)新成就展。

該項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)了從干涉儀組件、信號(hào)探測(cè)解調(diào)到多自由度探測(cè)方案設(shè)計(jì)的全鏈條自研開發(fā)的高測(cè)速、多軸大量程、高分辨力激光干涉測(cè)量系統(tǒng)，提出了光頻可溯源系列化激光干涉精密測(cè)長(zhǎng)方法。截至目前，項(xiàng)目獲授權(quán)發(fā)明專利20余項(xiàng)，發(fā)表SCI收錄論文30余篇。

該項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)所研發(fā)的光刻機(jī)用雙頻激光干涉儀系統(tǒng)，已成功應(yīng)用到我國(guó)自研光刻機(jī)工件臺(tái)樣機(jī)研發(fā)過程中，累計(jì)應(yīng)用50余臺(tái)套，很好地滿足了光刻機(jī)雙工件臺(tái)樣機(jī)的精密測(cè)量需求，支撐了國(guó)內(nèi)光刻機(jī)用雙頻激光干涉儀能力的形成，減輕了對(duì)國(guó)外高端干涉儀的依賴，為我國(guó)高端裝備和儀器研發(fā)提供了性能優(yōu)良且不受制于人的測(cè)量及溯源能力。

“中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)”是在國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)辦公室登記備案的省部級(jí)科技進(jìn)步獎(jiǎng)。其中申報(bào)一等獎(jiǎng)的項(xiàng)目要求整體技術(shù)已正式應(yīng)用三年以上并取得較大的經(jīng)濟(jì)效益或社會(huì)效益。目前產(chǎn)品已成功應(yīng)用到航空航天、汽車制造、機(jī)床檢測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域，成為提升中國(guó)制造產(chǎn)品質(zhì)量的有力支撐工具。