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《數(shù)字式激光球面干涉儀校準規(guī)范》征求意見稿公布 填補規(guī)范缺失


時間:2017-06-22 作者:五五
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近期,一則《數(shù)字式激光球面干涉儀校準規(guī)范》征求意見稿發(fā)布,涉及球面光學(xué)元件面形誤差的測量等內(nèi)容。據(jù)悉,當前國內(nèi)行業(yè)還沒有規(guī)范的數(shù)字式激光球面干涉儀的校準細則。該征求意見稿來自國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會,面向征求意見的對象為全國的計量技術(shù)機構(gòu)、科研院所以及相關(guān)的行業(yè)企業(yè)。


數(shù)字式激光球面干涉儀主要用于球面光學(xué)元件面形誤差的測量。其基本原理是通過分析參考球面與被測球面產(chǎn)生的干涉條紋而獲得被測球面面形誤差信息,其檢測精度直接受到干涉儀誤差(參考面面形誤差、隨機 電子噪聲、環(huán)境振動及氣流擾動等)的限制。近年來,大量進口和國產(chǎn)的數(shù)字式激光球面干涉儀在光學(xué)制造行業(yè)尤其是國防工業(yè)領(lǐng)域投入使用。

根據(jù)可查閱到得相關(guān)資料顯示,國內(nèi)外目前尚沒有關(guān)于數(shù)字式激光球面干涉儀的校準規(guī)范,僅存在數(shù)字式激光平面干涉儀的校準規(guī)范《GJB/J 6221-2008 數(shù)字式激光平面干涉儀校準規(guī)范》。由于球面干涉儀與平面干涉儀之間在標準鏡的選擇、安裝與調(diào)整、光路結(jié)構(gòu)、被測鏡的檢測與標定方法等方面存在極大的不同,其校準規(guī)范不能相互適用,經(jīng)常出現(xiàn)不同用戶之間測量方法不統(tǒng)一、測量數(shù)據(jù)不吻合的問題,故十分有必要制定數(shù)字式激光 球面干涉儀的校準規(guī)范來規(guī)范和完善生產(chǎn)廠家和計量機構(gòu)等在校準球面干涉儀時在校準項目、校準方法、校準器具的要求及技術(shù)要求和準確度等級等方面的表述。為了保證量傳的準確性,有必要制定國家校準規(guī)范,保證量值的準確統(tǒng)一。

該規(guī)范主要起草單位為中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所、中國計量科學(xué)研究院、中國測試技術(shù)研究院。編寫中,引用了GB 2831-2009《光學(xué)零件的面形偏差判讀測試結(jié)果》、GJB/J 6221-2008《數(shù)字式激光平面干涉儀校準規(guī)范》、JJF 1100-2003《平面等厚干涉儀校準規(guī)范》、JJG 28-2000《平晶檢定規(guī)程》、JB/T 7401-1994《平面平晶 JJF 1001 通用計量術(shù)語及定義 JJF 1059 測量不確定度評定與表示》等文件中的相關(guān)內(nèi)容。

此外,遵從JJF1071-2010《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》的要求,此規(guī)范架構(gòu)上包括封面、扉頁、目錄、引言、范圍、引用文件、概述、計量特性、校準條件、校準項目和校準方法、校準結(jié)果表達、復(fù)校時間間隔、附錄幾個部分。


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