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福祿克半導體行業(yè)應用解決方案:精準直觀 高精尖檢測保障高性能芯片


  來源: 福祿克公司 時間:2023-07-20 編輯:清風
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半導體芯片是電子產(chǎn)品的關(guān)鍵部件,在人工智能、智能駕駛等應用的驅(qū)動下,芯片電路設(shè)計正在變得越來越復雜,不但晶體管數(shù)量增大,芯片中的復雜子系統(tǒng)數(shù)量也在不斷增加。


芯片研發(fā) 熱像檢測


芯片尺寸小,檢測難度大,標準的紅外熱像鏡頭通常最小能檢測100微米大小的目標,而通過加裝微距鏡頭,可以最小檢測17微米目標,相當于1mm ×1mm的區(qū)域內(nèi)有3364個溫度數(shù)據(jù)。


·針對半導體制冷材料研究,溫度變化快,最低溫度低于-20℃,且目標非常小(直徑1mm以內(nèi)),需精確檢測制冷過程中的溫度變化。


·針對芯片金線檢測,金線通常在100微米以內(nèi),可通過熱像熱圖及時發(fā)現(xiàn)金線表現(xiàn)散熱狀況,從而對熔斷風險進行提示。


LED芯片溫度檢測


芯片晶格檢測


解決方案

Fluke TiX1060 便攜式熱像儀



·高清圖像畫質(zhì),1024×768分辨率

·空間分辨率高達0.43mrad

· -40℃~2000℃測溫量程

·180°旋轉(zhuǎn)鏡頭+5.5寸觸摸屏

·25個區(qū)域溫度分析功能


廠務系統(tǒng)運維

電能質(zhì)量檢測


晶圓制造使用了大量昂貴的高精密儀器設(shè)備,如光刻機、刻蝕機、CVD等,這些高精密生產(chǎn)設(shè)備很容易受電壓暫降和市電斷電影響,同時,晶圓生產(chǎn)的潔凈室也需要持續(xù)穩(wěn)定的電力供應以維持運行。可靠、穩(wěn)定、智能、綠色的電力保障是晶圓廠數(shù)字化高效運轉(zhuǎn)的重要保障。



解決方案

Fluke 177X系列電能質(zhì)量分析儀



·解決電壓驟升驟降對產(chǎn)線帶來的斷電影響,避免產(chǎn)線停產(chǎn)損失

·查找和發(fā)現(xiàn)高頻諧波對精密儀器的損害,保證產(chǎn)線健康運轉(zhuǎn)


福祿克半導體行業(yè)應用解決方案



從芯片電路設(shè)計熱點檢測,到半導體制造廠務系統(tǒng)的電能質(zhì)量檢測,從氣體泄漏檢測到溫度巡檢,下載《福祿克半導體行業(yè)應用解決方案》,了解從單晶硅制造到半導體制造的重點檢驗檢測產(chǎn)品應用。


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