（2）汽車MEMS傳感器分類

汽車MEMS傳感器主要包括以下種類：

車身感知:壓力傳感器

將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的汽車壓力傳感器主要分為電容式和電阻式兩類。壓力傳感器是能夠感受壓力信號(hào)，并將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成可用的電信號(hào)的裝置。根據(jù)壓敏元件的主流技術(shù)原理的不同，汽車壓力傳感器主要分為電容式壓力傳感器和電阻式壓力傳感器，通常應(yīng)用于發(fā)動(dòng)機(jī)的進(jìn)氣歧管處、檢測大氣壓力變化、檢測渦輪增壓機(jī)的增壓壓力、檢測懸架系統(tǒng)的油壓、實(shí)時(shí)檢測輪胎壓力、測量氣缸內(nèi)混合氣燃燒壓力等。

車身感知:位置傳感器

位置傳感器是測量元件運(yùn)轉(zhuǎn)或運(yùn)動(dòng)所處位置的裝置。汽車位置傳感器的工作原理主要有霍爾效應(yīng)、磁電阻效應(yīng)、光電式、電容式、電熱式五種。根據(jù)用途不同可分為曲軸位置傳感器、節(jié)氣門位置傳感器、車高與轉(zhuǎn)角位置傳感器、液位傳感器、方位傳感器、座椅位置傳感器等。

車身感知:汽車溫度傳感器

溫度傳感器：汽車上應(yīng)用最廣泛的溫度傳感器是熱敏電阻式溫度傳感器。汽車溫度傳感器將溫度信號(hào)轉(zhuǎn)化為可用輸出信號(hào)，按照工作原理可分為熱敏電阻式、熱電偶式、熱敏鐵氧體式，其中熱敏電阻式溫度傳感器應(yīng)用最為廣泛。根據(jù)應(yīng)用場景的不同熱敏電阻式溫度傳感器可分為進(jìn)氣溫度傳感器、冷卻液溫度傳感器、車內(nèi)外溫度傳感器、 蒸發(fā)器出口溫度傳感器、排氣溫度傳感器等。

車身感知:汽車慣性傳感器

慣性傳感器是用于測量物體在慣性空間中運(yùn)動(dòng)參數(shù)的裝置。根據(jù)運(yùn)動(dòng)是否呈線性的工作原理，慣性傳感器分為線加速度傳感器和角加速度傳感器兩類；按測量軸數(shù)量分為單軸、雙軸、三軸加速度傳感器。將線加速度傳感器、角加速度傳感器與其他測量元件組合搭配可以滿足汽車安全控制及導(dǎo)航系統(tǒng)的需求，具體應(yīng)用包括汽車安全氣囊、ABS防抱死剎車系統(tǒng)、電子穩(wěn)定程序（ESP）、電控懸掛系統(tǒng)等。

（線）加速度傳感器：線加速度傳感器又稱加速度傳感器，是通過測量傳感器內(nèi)部的慣性力并計(jì)算加速度數(shù)據(jù)的裝置。按照工作原理的不同加速度傳感器可分為交流響應(yīng)型和直流響應(yīng)型。交流加速度傳感器的感測機(jī)構(gòu)通常使用壓電元件，分為電壓輸出式壓電傳感器和電荷輸出式壓電傳感器；直流加速度傳感器根據(jù)感測技術(shù)的不同可分為電容式和壓阻式。

角（加）速度傳感器：角加速度傳感器又稱角速度傳感器，實(shí)質(zhì)是陀螺儀。陀螺儀是利用動(dòng)量矩（自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子產(chǎn)生）敏感殼體相對(duì)慣性空間繞正交于自轉(zhuǎn)軸的一個(gè)或兩個(gè)軸的角運(yùn)動(dòng)檢測裝置，可與加速度計(jì)共同構(gòu)成慣性導(dǎo)航系統(tǒng)，是決定慣性導(dǎo)航系統(tǒng)精度的主要因素。

車身感知:空氣流量傳感器

空氣流量傳感器又稱空氣體流量計(jì)，可用于檢測發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣量大小，是電噴發(fā)動(dòng)機(jī)最重要的傳感器之一。空氣流量傳感器通常安裝在進(jìn)氣管上，將進(jìn)氣量信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)傳遞給ECU，以供ECU確定噴油量和點(diǎn)火時(shí)間。對(duì)汽油噴射發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)行電子調(diào)節(jié)，使其在各種旋轉(zhuǎn)條件下基本都能獲得最佳濃度的混合氣，需要測量每時(shí)每刻吸入發(fā)動(dòng)機(jī)的空氣量，作為ECU計(jì)算（調(diào)節(jié)）噴油量的關(guān)鍵依據(jù)。如果空氣流量傳感器或電路出現(xiàn)故障，ECU得不到良好的進(jìn)氣信號(hào)，就無法適當(dāng)調(diào)整噴油量，會(huì)造成混合氣過濃或過稀，使發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)異常，甚至?xí)斐闪悴考p壞?？諝饬髁總鞲衅鞣譃轶w積式和質(zhì)量式，其中體積式包括葉片式、卡門渦街式、量芯式， 質(zhì)量式包括熱線式、熱模式。

車身感知:氣體傳感器