無人駕駛、電子穩(wěn)定、自動(dòng)導(dǎo)航……萬物互聯(lián)時(shí)代，汽車產(chǎn)業(yè)的發(fā)展逐漸進(jìn)入電動(dòng)化、智能化和無人化的新時(shí)期，在這背后，有一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)發(fā)揮重要作用，這就是微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）。

“MEMS尺寸最大的不超過一個(gè)厘米，最小的僅為幾個(gè)微米。就是這么微小的器件，能夠把信息的獲取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動(dòng)化、智能化和可靠性水平?！弊鳛閲鴥?nèi)最早從事MEMS技術(shù)與產(chǎn)品探索研發(fā)的企業(yè)，近年來，電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院河北美泰電子科技有限公司（簡稱“美泰科技”）始終以雄厚的技術(shù)實(shí)力、扎實(shí)的產(chǎn)品積累，沿著產(chǎn)業(yè)化創(chuàng)新發(fā)展之路，領(lǐng)跑汽車傳感器新賽道。

慣性器件新發(fā)展，搶占自動(dòng)駕駛制高點(diǎn)

“這個(gè)車的方向盤自己轉(zhuǎn)，不用人操作，即可自動(dòng)駕駛?！奔夹g(shù)人員介紹，使用慣性傳感器就能感受汽車最基本的速度、位置的變化，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)泊車、自動(dòng)駕駛，而這其中的關(guān)鍵核心技術(shù)是該公司完全自主研發(fā)的。“MEMS慣性器件是汽車自動(dòng)駕駛的傳感器核心芯片，可應(yīng)用于檢測(cè)和測(cè)量汽車加速度、傾斜、旋轉(zhuǎn)和多自由度運(yùn)動(dòng)，是解決導(dǎo)航、定向和運(yùn)動(dòng)載體控制的重要部件。”技術(shù)專家介紹，該系列慣性器件，具有體積小、重量輕、可靠性高、功耗低、成本低、可大批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)通過了車規(guī)級(jí)最高規(guī)格的AEC-Q100認(rèn)證。

之所以能夠通過嚴(yán)苛的車規(guī)級(jí)認(rèn)證，與美泰科技長期在MEMS領(lǐng)域的專注與堅(jiān)持是分不開的。

作為國內(nèi)MEMS慣性器件的先行者，美泰科技率先開始了MEMS技術(shù)與產(chǎn)品的探索與研發(fā)，推出了我國首款實(shí)用化MEMS加速度傳感器，占領(lǐng)了慣性技術(shù)的高地。瞄準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)化市場(chǎng)，美泰科技敏銳洞察到了MEMS慣性器件在汽車領(lǐng)域中的重要作用，推出了集成的MEMS慣性/衛(wèi)星組合導(dǎo)航系統(tǒng)，該款產(chǎn)品能夠輸出高實(shí)時(shí)性、高連續(xù)性的車輛姿態(tài)、方位、位置、速度信息等傳感數(shù)據(jù)，具有不間斷厘米級(jí)定位精度、不受外界干擾等獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)自動(dòng)駕駛汽車“全天候”精確定位定向，也在國際上首次實(shí)現(xiàn)MEMS慣性器件用于自動(dòng)駕駛領(lǐng)域，目前已成功批量應(yīng)用于國內(nèi)主流頭部車企重點(diǎn)車型，累計(jì)出貨超20萬套。

發(fā)揮感知力量，領(lǐng)跑汽車傳感器新賽道

“我們研發(fā)生產(chǎn)的都是超小體積的高科技產(chǎn)品，通過創(chuàng)新工藝讓汽車傳感器產(chǎn)品具有更多可能！”在美泰科技的傳感器部，產(chǎn)品設(shè)計(jì)師拿起了最新的8英寸倒裝焊壓力晶圓?！斑@一片上面有2萬顆感應(yīng)芯片，每個(gè)芯片只有一顆小米粒大小，比以前的傳統(tǒng)技術(shù)芯片體積縮小了幾百倍，但靈敏度更高了！”

這種自主研發(fā)的倒裝焊壓力芯片通過無引線裝技術(shù)，可以應(yīng)用在各種介質(zhì)中，具有應(yīng)力小、精度高、體積小、低成本的優(yōu)勢(shì)，廣泛用于汽車機(jī)油壓力、發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣壓力、空調(diào)系統(tǒng)、油箱蒸汽壓力、新能源電池溫度壓力等領(lǐng)域，已累計(jì)出貨近百萬只。

倒裝焊壓力芯片的研發(fā)是公司主動(dòng)應(yīng)對(duì)市場(chǎng)需求進(jìn)行的創(chuàng)新突破。

近年來，美泰科技不斷加大研發(fā)投入、持續(xù)提升產(chǎn)能、加強(qiáng)供應(yīng)鏈建設(shè)、強(qiáng)化質(zhì)量改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)MEMS慣性器件與系統(tǒng)在自動(dòng)駕駛市場(chǎng)的全覆蓋，加快MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)化的全速發(fā)展，成功入圍第四批國家級(jí)“專精特新”小巨人企業(yè)，并連續(xù)多年問鼎中國半導(dǎo)體MEMS十強(qiáng)企業(yè)。

攀登產(chǎn)品科研生產(chǎn)高峰，只有起點(diǎn)，沒有終點(diǎn)。

“從茫茫太空到浩瀚海洋，再到各種復(fù)雜的工程系統(tǒng)，幾乎每個(gè)現(xiàn)代化項(xiàng)目，都離不開MEMS傳感器，這也給我們更好履行肩負(fù)的加快推動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展使命，賦予了強(qiáng)大動(dòng)力?！痹谛碌臋C(jī)遇與背景下，美泰科技將持續(xù)聚焦核心競(jìng)爭(zhēng)力，借助感知力量，打造極致產(chǎn)品，持續(xù)提高自動(dòng)化、智能化和可靠性水平，不斷推動(dòng)中國MEMS技術(shù)高質(zhì)量發(fā)展。

通訊員/劉穩(wěn) 記者/王雪姣 校對(duì)/楊曉艾