突破‘卡脖子’技術(shù)，淄博智造再添新成果！近期，宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司自主研發(fā)的濺射金屬基高精納米膜芯體實現(xiàn)量產(chǎn)，填補國內(nèi)高端傳感器領(lǐng)域空白。這家成立僅一年的企業(yè)如何攻克技術(shù)難關(guān)？國產(chǎn)傳感器如何逆勢突圍？

記者走進宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司的展廳，可以看到一枚直徑不足1厘米的精密器件，正是企業(yè)打破國外壟斷的“秘密武器”——濺射金屬基高精納米膜芯體。別看它體積小巧，卻是壓力傳感器的“心臟”，可以產(chǎn)品提高產(chǎn)品在高溫、高壓、灰塵、潮濕等惡劣環(huán)境下的長期穩(wěn)定性和可靠性。宇鴻敏芯自主研發(fā)的濺射金屬基高精納米膜芯體，采用國際領(lǐng)先的MEMS加工工藝，將納米薄膜應(yīng)變電阻直接集成于金屬彈性體表面，實現(xiàn)敏感元件與彈性體的原子級結(jié)合。這項技術(shù)使國產(chǎn)傳感器首次作為自創(chuàng)產(chǎn)品在石油勘探、航空航天等高端領(lǐng)域達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn)。

宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司總工程師崔雪巖表示，公司自主研發(fā)的濺射薄膜壓力傳感器芯體不僅僅實現(xiàn)了國內(nèi)“零”的突破，而且相關(guān)參數(shù)在國際相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品中也是遙遙領(lǐng)先，其最高測量量程達(dá)到了380兆帕，相對于傳統(tǒng)壓力傳感器60兆帕的測量量程，達(dá)到了一個幾倍的遞增，年漂移精度僅僅只有千分之一，相對于其它壓力傳感器，年漂移精度達(dá)到千分之三、或者千分之五的精度，性能技術(shù)參數(shù)是遙遙領(lǐng)先。該產(chǎn)品的測試數(shù)據(jù)顯示：-50℃極寒到300℃炙烤，精度波動小于0.1%；承受3800倍大氣壓沖擊后，信號輸出依然穩(wěn)定。正是這些指標(biāo)，讓國產(chǎn)傳感器順利進入衛(wèi)星推進器供應(yīng)商名錄。

宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司研發(fā)部主任羅靜怡表示，之所以能夠達(dá)到這樣的技術(shù)指標(biāo)，是因為企業(yè)在科技研發(fā)方面不斷地投入。比如設(shè)備方面，成功參與研發(fā)并改進了全自動步進式紫外光刻機、全自動噴膠機等儀器，并聯(lián)合高校共建聯(lián)合實驗室，強化技術(shù)轉(zhuǎn)化能力。在人才團隊建設(shè)上，目前擁有的研發(fā)團隊碩士占比達(dá)50%，并聘請了多位半導(dǎo)體領(lǐng)域的國家級專家擔(dān)任技術(shù)顧問，通過產(chǎn)學(xué)研合作持續(xù)突破技術(shù)瓶頸，加強自身在濺射薄膜工藝領(lǐng)域的競爭力。

目前，宇鴻敏芯已擁有千、百級凈化車間與多條產(chǎn)線，具備30萬枚芯(片)體、10萬支壓力傳感器年產(chǎn)能力。研發(fā)及工藝設(shè)備近200臺套，具備較完備的設(shè)計研發(fā)力學(xué)傳感器技術(shù)平臺，助力技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)品升級。同時，宇鴻敏芯已擁有自主知識產(chǎn)權(quán)二十余項，為企業(yè)的持續(xù)發(fā)展提供了強大的技術(shù)支撐和競爭優(yōu)勢。下一步，宇鴻敏芯將逐步實現(xiàn)技術(shù)研發(fā)成果轉(zhuǎn)換，達(dá)成年產(chǎn)100萬支芯體，30萬支傳感器的產(chǎn)能規(guī)劃，向汽車電子、醫(yī)療電子、通訊電子領(lǐng)域的拓展布局。同時，依托國內(nèi)國際雙循環(huán)戰(zhàn)略，企業(yè)正推動"中國技術(shù)+中國標(biāo)準(zhǔn)"深度參與全球競爭，通過主導(dǎo)國際標(biāo)準(zhǔn)制定、建設(shè)海外聯(lián)合創(chuàng)新中心，讓"中國創(chuàng)造"從價值鏈參與者蛻變?yōu)橐?guī)則制定者。

企業(yè)是科技創(chuàng)新的主體，也是推動高質(zhì)量發(fā)展的生力軍，而企業(yè)的集聚效應(yīng)，又成為反向推動企業(yè)個體創(chuàng)新發(fā)展的助推器。選擇入駐“中國MEMS傳感器十大園區(qū)”之一的齊魯智能微系統(tǒng)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)基地，宇鴻敏芯看中的正是園區(qū)“一公里生態(tài)圈”的聚變效應(yīng)。在這里，從特種合金材料到微米加工，從封裝測試到智能校準(zhǔn)，數(shù)十家上下游企業(yè)環(huán)環(huán)相扣，讓宇鴻敏芯有了更大的發(fā)展空間。

宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司生產(chǎn)部經(jīng)理許凱表示，園區(qū)具有較為完善的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈、儀器儀表產(chǎn)業(yè)鏈的上下游配置。園區(qū)內(nèi)的精密機加配套讓企業(yè)產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)改良升級方面可以快速反應(yīng)；與MEMS研究院、山東理工大學(xué)等合作，提高了企業(yè)產(chǎn)品的技術(shù)更新迭代速度；相對完善的供應(yīng)鏈配套讓生產(chǎn)研發(fā)的成本更低、速度更快，讓產(chǎn)品更加具有市場競爭力。

據(jù)悉，齊魯智能微系統(tǒng)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)基地以MEMS、光電子、智能機器人為主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，聚有重點企業(yè)100余家，其中高新技術(shù)企業(yè)42家，智洋創(chuàng)新科創(chuàng)板上市，亞華電子創(chuàng)業(yè)板上市、新恒匯電子創(chuàng)業(yè)板過會，信通電子主板過會，齊芯微、瑞邦智能裝備、深川變頻等上市后備企業(yè)6家，國家級專精特新“小巨人”企業(yè)8家，省級“專精特新”中小企業(yè)30家，省瞪羚企業(yè)10家。擁有國產(chǎn)自主可控的光纖水聽器、國內(nèi)首款86寸金屬網(wǎng)格銅柔性觸控屏等打破國際壟斷和國際先進項目的高端產(chǎn)業(yè)項目32個，2021年和2022年連續(xù)被省工信廳評為“省級數(shù)字經(jīng)濟園區(qū)”，2023年入選“中國MEMS傳感器十大園區(qū)”，并被省科技廳評為“省級科技企業(yè)加速器”，2024年入選省工信廳認(rèn)定的“山東省首批數(shù)字產(chǎn)業(yè)集群”，淄博高新區(qū)智能微系統(tǒng)加速器在2024年度省級科技企業(yè)孵化載體績效評價中獲評優(yōu)秀。