近日，由上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院全資子公司上海計(jì)測工程設(shè)備監(jiān)理有限公司牽頭的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)——“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用（2014YQ090709）”2016年度會議在該院召開。會議由國家質(zhì)檢總局科技司副處長謝正文主持，國家質(zhì)檢總局科技司王越薇副司長、國家科技部資配司錢小勇處長、上海市科委基地處過浩敏處長、張露璐主管、上海市質(zhì)監(jiān)局陸敏總工、朱晨輝處長、金國藩院士、莊松林院士、李同保院士、上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院邵力院長以及項(xiàng)目組全體成員出席了會議。
會上，謝正文副處長通報(bào)了國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)2016年度項(xiàng)目中期評估結(jié)果。此次共有29個(gè)項(xiàng)目參加評估，本項(xiàng)目的中期評估綜合等第為A類，成為僅有的5個(gè)A類項(xiàng)目之一。與會的領(lǐng)導(dǎo)和專家都對本項(xiàng)目獲得如此高的評分表示祝賀！
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人邵力向與會領(lǐng)導(dǎo)和專家介紹項(xiàng)目進(jìn)展、展示項(xiàng)目成果，并匯報(bào)下一階段工作計(jì)劃與系列樣機(jī)規(guī)劃。本項(xiàng)目已研制高精度跨尺度微納米測量儀一臺、通用型跨尺度微納米測量儀兩臺（裝配中），性能指標(biāo)及相關(guān)參數(shù)均符合科技部立項(xiàng)要求。并且，本項(xiàng)目研發(fā)儀器已在納米標(biāo)準(zhǔn)樣品的制備及檢測、超精密加工材料的微介觀結(jié)構(gòu)檢測、IC晶圓的檢測、環(huán)境顆粒物質(zhì)的檢測等方面展開應(yīng)用。
參會領(lǐng)導(dǎo)、專家組、監(jiān)理組和用戶委員會成員都對本項(xiàng)目的發(fā)展及應(yīng)用前景表示樂觀，建議加強(qiáng)項(xiàng)目后續(xù)工程化、產(chǎn)業(yè)化工作，進(jìn)一步提高儀器的穩(wěn)定性和可靠性，集中1-2個(gè)較好領(lǐng)域研發(fā)專業(yè)化的應(yīng)用軟件。
此外，會議上關(guān)注的知識產(chǎn)權(quán)問題，以及如何使中國制造的高端儀器真正融入市場，也成了探討的關(guān)注點(diǎn)。
