考核指標(biāo)：樣品尺寸1nm~20μm，自旋保持時(shí)間≥100μs，時(shí)間分辨率≤50ps;自旋空間測(cè)量范圍0.1nm~2μm;自旋空間橫向分辨率≤0.1nm，縱向分辨率≤0.01nm;自旋間力測(cè)量范圍0.2nN~5nN，分辨率≤0.2nN;平均故障間隔時(shí)間≥3000小時(shí)。

2.15 低場(chǎng)量子電阻測(cè)量?jī)x

研究目標(biāo):針對(duì)電阻高準(zhǔn)確度校準(zhǔn)的需要，突破低場(chǎng)量子電阻測(cè)量和計(jì)量傳遞等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國(guó)產(chǎn)化的低場(chǎng)量子電阻測(cè)量?jī)x，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)，實(shí)現(xiàn)低磁場(chǎng)、無(wú)需補(bǔ)充液氦低溫條件下可移動(dòng)和不間斷運(yùn)行的高準(zhǔn)確度電阻測(cè)量。開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標(biāo)：測(cè)量范圍1Ω~10kΩ，低磁場(chǎng)量子電阻不確定度≤1×10-8，高準(zhǔn)確度電阻傳遞裝置不確定度≤1×10-8，可移動(dòng)式基準(zhǔn)級(jí)低場(chǎng)量子電阻測(cè)量系統(tǒng)的整體不確定度≤2×10-8，所需超導(dǎo)磁體磁感應(yīng)強(qiáng)度≤6T，低溫裝置溫度范圍4.2K~10K;平均故障間隔時(shí)間≥3000小時(shí)。

2.16 高精度三維螺紋綜合測(cè)量?jī)x

研究目標(biāo)：針對(duì)先進(jìn)制造領(lǐng)域螺紋幾何參數(shù)的綜合性檢測(cè)需求，突破內(nèi)外螺紋三維掃描高精度測(cè)頭和三維參數(shù)高效重構(gòu)關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國(guó)產(chǎn)化的高精度三維螺紋綜合測(cè)量?jī)x，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫(kù)，實(shí)現(xiàn)螺紋全參數(shù)的三維自動(dòng)掃描檢測(cè)。開展工程化開發(fā)、應(yīng)用示范和實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。