1.16 高精度加速度傳感器

研究目標：開發(fā)高精度微型加速度傳感器，突破溫度漂移抑制和工藝一致性等關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在航空儀表、微慣性測量單元等領(lǐng)域儀器中的應用。

考核指標：量程±50g，分辨率≤5μg，綜合精度≤10μg，輸入軸失準角≤12μrad，重復性≤4.5×10-4/年，功耗≤5mW，封裝體積≤φ20mm×12mm,工作溫度范圍-45°C~ 85°C，抗沖擊≥250g;平均故障間隔時間≥5000小時。[pagebreak]

1.17 陣列式微型超聲換能器

研究目標：開發(fā)陣列式微型超聲換能器，突破大幅面陣列陣元制備關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在超聲成像、流量檢測、指紋識別等儀器中的應用。

考核指標：陣列尺寸≤40mm×40mm，陣元數(shù)量≥64×64，工作頻率范圍100kHz~2MHz，空氣中聲壓級≥75dB（20μPa/V@1m），波束寬度≤30°，機械品質(zhì)因數(shù)≥30;平均故障間隔時間≥5000小時。

1.18 微型風速風向傳感器

研究目標：開發(fā)高性能微型風速風向傳感器，突破閉環(huán)控制和溫度漂移抑制等關(guān)鍵技術(shù)，開展工程化開發(fā)、應用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品，實現(xiàn)在風電廠風場檢測儀、野外便攜式氣象檢測儀、環(huán)境檢測儀等儀器中的應用。