13、睿創(chuàng)微納——8吋MEMS晶圓生產(chǎn)線

睿創(chuàng)微納是一家專業(yè)從事非制冷紅外熱成像與MEMS傳感技術開發(fā)的半導體集成電路芯片企業(yè)，2020年7月24日，與煙臺開發(fā)區(qū)簽署協(xié)議，建設一條8吋MEMS工藝線和一條化合物半導體工藝線，滿足研發(fā)和中試要求。睿創(chuàng)微納采用與晶圓代工廠共建產(chǎn)線的模式，8吋MEMS晶圓生產(chǎn)線已投入量產(chǎn)（非制冷紅外熱成像探測器芯片），產(chǎn)能達到每月1500片晶圓，可年產(chǎn)各類芯片360萬顆。

14、河北美泰——6吋MEMS生產(chǎn)線

河北美泰擁有6吋MEMS生產(chǎn)線，主要產(chǎn)品有慣性、測試測量傳感器、壓力、汽車傳感器、RF器件、光MEMS器件等。美泰科技的6吋MEMS生產(chǎn)線總投資超過1億美元，是一個以生產(chǎn)高端MEMS產(chǎn)品為主的全新自動化產(chǎn)線。該新產(chǎn)線的月產(chǎn)能達到1萬片。

圖：美泰科技生產(chǎn)的6吋MEMS晶圓

15、罕王微電子—— 8吋MEMS生產(chǎn)線

罕王微電子作為國際一流的專注于MEMS傳感器IDM制造商之一，擁有先進的8吋MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程。2016年，罕王微電子收購美信旗下MEMS傳感器業(yè)務，2018年底 8吋MEMS生產(chǎn)線工程建設全部竣工，達產(chǎn)后可實現(xiàn)年產(chǎn)能36萬片、30億只MEMS芯片，可生產(chǎn)MEMS壓力及應力、加速度、陀螺儀、流量、溫度、濕度及氣體等傳感器。

16、西人馬——8吋兼容6吋MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線

西人馬公司泉州MEMS芯片及傳感器生產(chǎn)線車間，配備8吋向下兼容6吋的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和中國先進的MEMS器件加工平臺，擁有6000平方米的高等級潔凈車間，具備深硅刻蝕、鍵合、光刻、原子力顯微鏡、掃描電鏡等先進的制造、封裝與檢測設備，具備一體化的量產(chǎn)能力。

產(chǎn)品包括高精度硅壓力傳感芯片、中溫和高溫壓力芯片、陀螺儀芯片等。西人馬已經(jīng)成為國內MEMS領域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達到幾十萬顆。

17、諾思微系統(tǒng)——6吋MEMS晶圓生產(chǎn)線和4吋工藝研發(fā)線

諾思微系統(tǒng)是一家從事無線通信射頻前端MEMS芯片、模塊應用方案設計研發(fā)生產(chǎn)銷售的高科技公司。已投產(chǎn)一條6吋的MEMS晶圓生產(chǎn)線和一條4吋的工藝研發(fā)線，天津廠房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬平方米。采用硅襯底的微機電系統(tǒng)(MEMS)制造技術的FBAR射頻濾波器，月生產(chǎn)能力達到3000萬只芯片。

今年3月，作為國內唯一具備大規(guī)模量產(chǎn)交付能力的平臺，諾思牽頭國家重點研發(fā)計劃“制造基礎技術與關鍵部件”專項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關鍵技術與平臺”正式啟動，未來3年內諾思的量產(chǎn)產(chǎn)線將力爭達到年產(chǎn)20億顆芯片的產(chǎn)能規(guī)模，為解決高端射頻濾波芯片的國產(chǎn)供應提供保障。

18、芯動科技——6吋MEMS生產(chǎn)線

浙江芯動科技有限公司創(chuàng)立于2017年4月，是一家專注高端MEMS代工的生產(chǎn)加工企業(yè)。擁有6吋MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過程，可生產(chǎn)壓力、加速度計、陀螺儀，光鏡和生物醫(yī)學等MEMS傳感器芯片產(chǎn)品。2018年10月生產(chǎn)出首批產(chǎn)品。據(jù)此前相關介紹，芯動科技投產(chǎn)后，生產(chǎn)能力可達年產(chǎn)400萬顆芯片，年產(chǎn)值可達4億元。

據(jù)去年11月官方消息顯示，芯動科技目前已投入1億多用于產(chǎn)線的建設，計劃聯(lián)合資本方在未來2-3年投入5億元人民幣繼續(xù)完善制造基地的相關設備設施。該基地目前建筑面積為3000平方米，是中國最先進的MEMS器件加工平臺之一，具備芯片制造、封裝測試等一系列的能力。

19、啟泰傳感科技——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線

啟泰傳感科技作為傳感器產(chǎn)業(yè)的龍頭企業(yè)，坐擁6千多平方米、潔凈度達100級的壓敏芯片廠。MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線于 2019 年 1 月 16 日成功通線， 2019 年 8 月份實現(xiàn)批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬顆，第一期達產(chǎn)后可年產(chǎn)芯片600萬顆。