美國(guó)丹納赫傳動(dòng)以Dover為商標(biāo)，推出用于半導(dǎo)體后端工藝的完善的晶片定位系統(tǒng)。美國(guó)丹納赫傳動(dòng)設(shè)計(jì)和制造了各種定位系統(tǒng)，特別為縮短制造時(shí)間和優(yōu)化制造水平而設(shè)計(jì)了直接插拔系統(tǒng)。

運(yùn)轉(zhuǎn)更平滑，更安靜，更快

晶片爐系統(tǒng)應(yīng)用

美國(guó)丹納赫傳動(dòng)高精度直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、滑軌和臺(tái)架，使晶片加工設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)更長(zhǎng)久、更平滑……周而復(fù)始地運(yùn)轉(zhuǎn)。

從電機(jī)到減速器、執(zhí)行器直到軸承系統(tǒng)，具有50多年的經(jīng)驗(yàn)和最廣泛的產(chǎn)品選擇，可以從同一技術(shù)源設(shè)計(jì)最節(jié)省成本、最高性能的成套解決方案。

晶片輸送系統(tǒng)應(yīng)用

美國(guó)丹納赫傳動(dòng)高精度直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、滑軌和臺(tái)架，使芯片加工設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)更長(zhǎng)久更平滑……周而復(fù)始地運(yùn)轉(zhuǎn)。

從電機(jī)到減速器、執(zhí)行器直到軸承系統(tǒng)，具有50多年的經(jīng)驗(yàn)和最廣泛的產(chǎn)品選擇，可以從同一技術(shù)源設(shè)計(jì)最節(jié)省成本、最高性能的成套解決方案。

美國(guó)丹納赫傳動(dòng)的高性能定位系統(tǒng)舉例

高性能200mm和300mm晶片平臺(tái)：

美國(guó)丹納赫傳動(dòng)Triathalon平面空氣軸承、直線運(yùn)動(dòng)晶片平臺(tái)能夠產(chǎn)出精確、高生產(chǎn)率和穩(wěn)定性的最終產(chǎn)品。

空氣軸承FPD臺(tái)架系統(tǒng)：

美國(guó)丹納赫傳動(dòng)的行業(yè)領(lǐng)先的通用型5、6和7套臺(tái)架系統(tǒng)能夠滿足最苛刻的環(huán)境要求。

恒速掃描平臺(tái)：

美國(guó)丹納赫傳動(dòng)空氣軸承掃描平臺(tái)具有31皮米分辨率和保持低于5納米的CV跟蹤誤差，專為大多數(shù)高要求圖像應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

高真空定位系統(tǒng)：

用來(lái)使整體直接進(jìn)入處理腔(最小抽真空級(jí)1 X 10 -8 Torr)。

高速空氣軸承：

能夠在非常緊湊的X軸組件里進(jìn)行高效率晶片掃描。