找到位于電鏡工作臺(tái)鏡筒左下方的樣品傾斜、旋轉(zhuǎn)速度調(diào)節(jié)旋鈕,發(fā)現(xiàn)旋處于緊靠零位處,將旋調(diào)節(jié)到適當(dāng)位置,使樣品恢復(fù)至正常運(yùn)行狀態(tài),故障排除。
4、高壓、電源系統(tǒng)
故障一(JEM-1200EX)
【故障現(xiàn)象】:
電鏡工作正常,高壓突然跳掉,電子束束流和偏壓指示燈不亮,其余指示燈完全正常。將電鏡電源關(guān)閉一段時(shí)間后,再開機(jī),工作20多分鐘后,又重復(fù)出現(xiàn)掉高壓故障。
【故障分析】:
從故障現(xiàn)象分析,與電鏡沒開電源時(shí)的狀態(tài)基本相同,估計(jì)故障出在透鏡電源部分。由于出現(xiàn)周期性故障復(fù)發(fā),也有可能是某種原因?qū)е码婄R發(fā)生過載或過壓保護(hù)狀態(tài)。
【故障排除】:
首先檢查透鏡電源保險(xiǎn)絲是好的,說明未發(fā)生電源過載故障,電源應(yīng)該是沒有多大問題。進(jìn)一步分析其他原因,看電鏡是否處于保護(hù)狀態(tài)。由于故障不是馬上出現(xiàn),電鏡能正常工作20多分鐘,可以推斷是電鏡的某個(gè)部件在工作一段時(shí)間后,受溫度影響而發(fā)射變化出現(xiàn)異常。電鏡的一些部件(如鏡筒內(nèi)部物鏡線圈和擴(kuò)散泵)是用冷卻水來控制的,如果冷卻水供給系統(tǒng)有故障,就會(huì)降低冷卻作用,使有關(guān)部件溫度過高,溫度超溫開關(guān)(傳感器)動(dòng)作時(shí)電鏡處于被保護(hù)狀態(tài),因此重點(diǎn)檢查冷卻水循環(huán)水器是否正常。
檢查冷卻水循環(huán)水箱的水溫控制器指示不對(duì)。一般水溫控制在18-20℃,而這時(shí)溫度指示器是27 ℃,顯然溫度過高,冷卻水的冷卻作用降低,電鏡處于保護(hù)狀態(tài),將指示器重新調(diào)至18℃,鏡電恢復(fù)正常工作。
故障二(JEM-1200EX)
【故障現(xiàn)象】:
電鏡“READY”燈不亮。高壓不能加上,電鏡無法工作。
【故障分析】:
電鏡“READY”燈不亮,分析可能是真空度不足,電子槍氣體室的氟利昂氣體壓力偏低及電子槍上相連的微動(dòng)開關(guān)短路等原因。其中最大的可能性是的氟利昂氣體壓力偏低,因?yàn)樵搲毫﹄S著電鏡使用時(shí)間會(huì)慢慢降低的。
【故障排除】:
首先檢查真空度是正常的,電子槍微動(dòng)開關(guān)也是好的,但此時(shí)電子槍氣體室氟利昂壓力低于1.7(壓力表指示值),根據(jù)手冊(cè)“6-3-1”章節(jié)介紹,其壓力低于1.7時(shí)需及時(shí)補(bǔ)充氟利昂。經(jīng)補(bǔ)充氟利昂氣體使壓力升至到1.7以上,電鏡“READY”燈點(diǎn)亮,電鏡恢復(fù)正常工作。
故障三(JEM-1200EX)
【故障現(xiàn)象】:
電鏡開機(jī)十幾分鐘后自動(dòng)停機(jī),過一段時(shí)間再開機(jī),十幾分鐘后電鏡又自動(dòng)停機(jī)。
【故障分析】:
電鏡能正常開機(jī),說明系統(tǒng)運(yùn)行正常,運(yùn)行一段時(shí)間后,某處存在異常導(dǎo)致電鏡進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)而自動(dòng)停機(jī),重點(diǎn)在各個(gè)保護(hù)系統(tǒng)以及保護(hù)裝置上。
【故障排除】:
首先檢查空壓機(jī)壓力指示正常,超壓保護(hù)裝置正常。再檢查冷卻循環(huán)水系統(tǒng),發(fā)現(xiàn)水泵沒有運(yùn)行,用萬用表測量水泵工作電壓正常,懷疑水泵電機(jī)有故障,關(guān)掉電源,測量水泵電機(jī)線圈電阻為無窮大,繼續(xù)檢查結(jié)果發(fā)現(xiàn)電機(jī)線圈一根外接引線被腐蝕斷掉了,用電烙鐵重新焊上,檢查其他無誤后,開機(jī)冷卻循環(huán)水泵恢復(fù)正常運(yùn)行,不再出現(xiàn)十幾分鐘后自動(dòng)停機(jī)現(xiàn)象。故障排除電鏡恢復(fù)正常工作。
小結(jié):由于冷卻循環(huán)水泵沒有工作,冷卻水無法在機(jī)內(nèi)循環(huán)流動(dòng),機(jī)內(nèi)溫度升高,當(dāng)循環(huán)水溫超過60度時(shí),水溫超溫保護(hù)控制器啟動(dòng),切斷工作電源,自動(dòng)保護(hù)電鏡不受損害。
故障四(JEM-1200EX)
【故障現(xiàn)象】:
觀察樣品時(shí),高壓加到100KV出現(xiàn)高壓放電現(xiàn)象,能聽見“噼啪”打火的聲音,退回高壓后,再慢慢加高壓到50KV時(shí)再次出現(xiàn)高壓放電現(xiàn)象,儀器無法正常工作。
【故障分析】:
正常情況下高壓在120KV內(nèi)是安全的,在低于此范圍不應(yīng)該出現(xiàn)高壓放電,由于放電現(xiàn)象出現(xiàn),分析應(yīng)該是高壓系統(tǒng)某處絕緣不良,導(dǎo)致出現(xiàn)高壓放電打火發(fā)生。重點(diǎn)在與高壓系統(tǒng)相關(guān)的部件存在故障。
【故障排除】:
首先打開電子槍系統(tǒng),將燈絲、陽極帽等金屬部件及陶瓷部件進(jìn)行徹底的清洗,有碳化發(fā)黑處用金相研磨膏進(jìn)行精細(xì)打磨,在清洗烘干,試著開機(jī)抽真空,結(jié)果仍有打火現(xiàn)象,仔細(xì)聆聽和觀察發(fā)現(xiàn)打火聲來自高壓電纜與電子槍連接處。將高壓電纜從高壓箱中取出,用2500V兆歐表進(jìn)行絕緣檢測指示為無窮大,說明電纜并未擊穿,在拔出高壓電纜與電子槍連接頭,仔細(xì)檢查發(fā)現(xiàn)電纜頭側(cè)面絕緣膠皮上有一條細(xì)細(xì)的燒痕,與其對(duì)應(yīng)陶瓷部件上也有一個(gè)燒痕,罪魁禍?zhǔn)拙驮谶@里。
用小刀輕輕地刮掉電纜上的燒痕,清洗掉殘漬污物在烘干,再涂抹高壓硅脂。用研磨膏打磨陶瓷部件上的痕跡,清洗烘干。將高壓電纜安裝復(fù)原,通電試機(jī),抽真空到位后,慢慢加高壓30KV,無打火現(xiàn)象,工作一段時(shí)間,再加高壓50KV,仍未發(fā)生打火現(xiàn)象,工作一段時(shí)間后,最后加高壓100KV,仔細(xì)觀察和細(xì)聽,再未出現(xiàn)放電打火現(xiàn)象。儀器運(yùn)行正常,故障排除。
小結(jié):為了儀器運(yùn)行安全可靠起見,開先在50KV下連續(xù)數(shù)小時(shí)拷機(jī),再加高壓100KV連續(xù)工作數(shù)小時(shí),以達(dá)到儀器的穩(wěn)定狀態(tài)。
故障五(JEM-1200EX)
【故障現(xiàn)象】:
當(dāng)按下“HT”按鍵時(shí),暗電流很快升高超過250μA,隨后儀器進(jìn)入自動(dòng)保護(hù)狀態(tài)。
【故障分析】: