1、檢查高壓箱內(nèi)電路，拆除高壓電纜，用示波器檢測(cè)TM7端子（圖4）波形穩(wěn)定性，加速電壓增加過(guò)程中，暗電流基本變化符合標(biāo)稱值，反復(fù)升壓降壓持續(xù)一段時(shí)間，均未發(fā)現(xiàn)電子束閃動(dòng)和暗電流增加情況，基本排除高壓箱內(nèi)部放電故障。
2、檢查電子槍系統(tǒng)，先更換新燈絲，對(duì)燈絲架和文氏帽進(jìn)行清洗，重新安裝。檢查發(fā)現(xiàn)高壓電纜與電子槍外殼接觸端部表面有放電痕跡，將放電痕跡清洗并清除掉，并在端部表面均勻涂敷絕緣硅膠。電子槍安裝后復(fù)原后，開(kāi)機(jī)升壓電子束仍然不穩(wěn)。繼續(xù)檢查電子槍其他部件，檢查到電子槍導(dǎo)入部和燈絲交換部發(fā)現(xiàn)表面有污漬，并伴有放電現(xiàn)燒焦?fàn)睢?
將電子槍固定座拔出后發(fā)現(xiàn)外表導(dǎo)電膠固化不均勻，且發(fā)現(xiàn)有粉末狀附著物。將放電污漬及粉末徹底清洗，將電子槍固定座重新涂敷導(dǎo)電膠后，重新安裝電子槍。將離子泵和鏡筒烘烤完畢后，升壓至80KV暗電流仍偏大，20分鐘后電子束發(fā)生閃動(dòng)。
3、檢查加速管電路，用兆歐表測(cè)的加速管分壓電阻為500MΩ～600MΩ（正常為800MΩ）偏低，更換新分壓電阻。繼續(xù)檢查發(fā)現(xiàn)電子槍引入高壓電纜的接線柱絕緣子上有放電痕跡，將放電痕跡清除掉，再將電子槍重新裝配好。開(kāi)機(jī)抽真空，加電壓，并觀察暗電流變化，80KV加束流未發(fā)生電子束閃動(dòng)，100KV也未發(fā)生電子束閃動(dòng)，且暗電流均為正常。工作一段時(shí)間后未發(fā)現(xiàn)異常，升壓至180KV工作正常，未出現(xiàn)閃動(dòng)現(xiàn)象。由此證明，電鏡電子束閃動(dòng)故障已排除。
小結(jié)：經(jīng)更換燈絲及分壓電阻，并徹底清洗了高壓電纜相關(guān)部件的放電痕跡，排除了故障。分析原因暗電流增加是加速管分壓電阻減小所致，系統(tǒng)多處放電是造成閃動(dòng)的禍根。
圖5 JEM-2000EX高壓箱部分電路（TM7高壓端子）示意圖
故障十（JEM-2000EX）
【故障現(xiàn)象】：
電鏡在170KV狀態(tài)下正常，在降至160KV（未關(guān)閉電子束）過(guò)程中，聽(tīng)到高壓方向有一響聲，隨即束流下降至19μA（正常為80μA），顯示屏顯示為160KV，立即停機(jī)。休息一段時(shí)間后，重新開(kāi)機(jī)，從20KV開(kāi)始升至40KV，束流指示從10μA升至19μA，過(guò)程穩(wěn)定，繼續(xù)升高壓，束流指示不再發(fā)生變化。
【故障分析】：
結(jié)合電路分析，故障可能出現(xiàn)的部位有計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，束流測(cè)試系統(tǒng)，高壓發(fā)生器系統(tǒng)。
【故障排除】：
1、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)熒光屏顯示高壓值隨升壓開(kāi)關(guān)波動(dòng)而升高，但實(shí)際上計(jì)算機(jī)控制給出的振蕩系統(tǒng)的電壓并未升高，用萬(wàn)用表測(cè)量計(jì)算機(jī)設(shè)定值電路板HT STAB PB的TM4（MT ES）對(duì)地電壓，每升高2KV，該點(diǎn)電壓呈線性比例對(duì)應(yīng)升高0.15V，說(shuō)明計(jì)算機(jī)高壓值設(shè)置系統(tǒng)工作正常。
2、束流測(cè)試系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)控制輸出電壓受高壓箱內(nèi)反饋電壓作用并輸送給高壓發(fā)生器，高壓發(fā)生器振蕩電壓送至高壓箱內(nèi)變壓器。用萬(wàn)用表測(cè)高壓發(fā)生器電路板HT OSC PB的HT PS點(diǎn)對(duì)地電壓，從20KV到40KV升高過(guò)程正常，繼續(xù)升高計(jì)算機(jī)顯示屏顯示電壓918V不再升高。拔下高壓電纜和反饋線后轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)S1至手動(dòng)方式M（正常為自動(dòng)方式A）重新測(cè)量，結(jié)果電壓不再受反饋信號(hào)作用，可以正常升高，說(shuō)明束流測(cè)試系統(tǒng)正常，高壓供電電壓正常。
3、高壓發(fā)生器系統(tǒng)，打開(kāi)高壓箱檢查高壓箱內(nèi)RC濾波部件正常，用兆歐表逐個(gè)檢查高壓變壓器輸出倍壓整流高壓硅堆，發(fā)現(xiàn)最高一級(jí)的一只高壓硅堆參數(shù)不穩(wěn)定，同時(shí)發(fā)現(xiàn)高壓箱內(nèi)有放電斑點(diǎn)，證實(shí)故障可能在高壓箱內(nèi)。更換一只新高壓硅堆，并清除掉放電斑點(diǎn)，再用石油醚將高壓箱內(nèi)不徹底清洗一遍，烘干充入氟利昂保護(hù)氣，開(kāi)機(jī)電鏡恢復(fù)正常運(yùn)行。
小結(jié)：打開(kāi)高壓箱要慎重，高壓箱一般情況下盡量不要打開(kāi)，非要打開(kāi)時(shí)一定要按操作規(guī)程進(jìn)行操作，注意操作安全，絕對(duì)保持高壓箱內(nèi)清潔，工作環(huán)境要做好防塵和除塵處理。
5、其他系統(tǒng)
故障一（JEM-1200EX）
【故障現(xiàn)象】：
儀器在正常觀察中，由于天氣打雷閃電引起突然停電，再開(kāi)機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)打印機(jī)不停輸送打印紙，其他均未發(fā)現(xiàn)異常。
【故障分析】：
從故障現(xiàn)象看，故障在打印機(jī)系統(tǒng)，或打印機(jī)相關(guān)的驅(qū)動(dòng)電路及打印機(jī)街口單元。按下鍵盤(pán)打印鍵，打印功能完全顯示在顯示屏上，由此判斷電鏡打印功能是正常的。
【故障排除】：
關(guān)閉打印機(jī)接口電路板的電源，打印機(jī)仍然不停地送紙，從而判斷故障出在打印機(jī)本身，故障發(fā)生在打印機(jī)驅(qū)動(dòng)電路板（PTR DRVER PB），通過(guò)對(duì)電路的分析，故障極有可能出現(xiàn)在馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路上，而馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路又由三個(gè)三極管TR15、TR16、TR17（2SA1051）組成。用萬(wàn)用表分別測(cè)量三個(gè)三極管，結(jié)果發(fā)現(xiàn)TR17的CE間被擊穿短路，由于無(wú)同型號(hào)三極管，故用2SA733替換2SA1051更換后，打印機(jī)恢復(fù)正常功能，故障排除。
故障二（JEM-1200EX）
【故障現(xiàn)象】：
