前言
日本電子JEM-1200EX/2000EX透射電子顯微鏡是我國(guó)八十年代較早引進(jìn)的先進(jìn)的大型精密儀器，對(duì)各種固體材料的微觀形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察和分析，對(duì)固體材料的元素組成進(jìn)行定性和定量分析。廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)礦產(chǎn)等方面，為我國(guó)的大專(zhuān)院校、科研機(jī)構(gòu)、科學(xué)院所、工礦企業(yè)的科學(xué)研究和產(chǎn)品生產(chǎn)做出了不小的貢獻(xiàn)。
JEM-1200EX透射電鏡（圖1）是比較典型的大型精密儀器產(chǎn)品，該產(chǎn)品體積較大，結(jié)構(gòu)繁瑣，電路復(fù)雜，布局零散，輔助設(shè)備多，在使用過(guò)程中總體性能還是相當(dāng)穩(wěn)定的，但是由于工作年限較長(zhǎng)，儀器發(fā)生過(guò)一些故障，下面現(xiàn)將出現(xiàn)過(guò)的一些故障維修案例進(jìn)行精煉匯編，介紹給版友們及同行參考。JEM-2000EX型電鏡與JEM-1200EX型電鏡差別不大，維修方法大同小異，可相互參考。
圖1 JEM-1200EX透射電子顯微鏡主機(jī)外觀圖
1、真空系統(tǒng)
故障一（JEM-1200EX）
【故障現(xiàn)象】：
正常開(kāi)機(jī)，只有V1閥～V3閥打開(kāi)，其他閥均處于關(guān)閉狀態(tài)。一般情況下，開(kāi)機(jī)30～40分鐘左右，真空?qǐng)D標(biāo)顯示V1閥～V6閥打開(kāi)，V12閥、V13閥打開(kāi)，此時(shí)其他閥未打開(kāi)，說(shuō)明儀器不正常。再次開(kāi)機(jī)偶爾可聽(tīng)見(jiàn)鏡體內(nèi)有異常聲音，屏幕提示PI-1：253，PI-2：187，PI-3：232，PI-4：126，此時(shí)V2閥、V3閥處于關(guān)閉狀態(tài)。檢查空壓機(jī)，壓力為3.65kg/cm2偏低。
【故障分析】：
分析氣閥壓力不足，導(dǎo)致氣閥開(kāi)關(guān)不穩(wěn)定。
【故障排除】：
打開(kāi)空壓機(jī)，壓力加至4.8kg/cm2，再次開(kāi)機(jī)，抽真空正常，各閥按儀器順序正常打開(kāi)和關(guān)閉，儀器恢復(fù)正常運(yùn)行。
故障二（JEM-1200EX）
【故障現(xiàn)象】：
打開(kāi)電源啟動(dòng)儀器，機(jī)械泵旋轉(zhuǎn)一周，然后迅速停止。
【故障分析】：
從故障現(xiàn)象分析，機(jī)械泵能旋轉(zhuǎn)一周，說(shuō)明啟動(dòng)電源沒(méi)有問(wèn)題，機(jī)械泵旋轉(zhuǎn)要靠啟動(dòng)感應(yīng)傳感器來(lái)維持旋轉(zhuǎn)，問(wèn)題可能在傳感器及控制系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)未發(fā)現(xiàn)異常。
【故障排除】：
用備件傳感器更換，開(kāi)機(jī)故障不變，因此重點(diǎn)放在檢查控制系統(tǒng)，打開(kāi)控制系統(tǒng)檢查發(fā)現(xiàn)內(nèi)部很潮濕，部分機(jī)械部件已生銹，問(wèn)題根源應(yīng)該就在于此。取下生銹部件進(jìn)行除銹清洗，烘干并加一些潤(rùn)滑脂防銹，清理控制器內(nèi)部潮濕區(qū)域，安裝復(fù)原修理部件，通電開(kāi)機(jī)機(jī)械泵恢復(fù)正常旋轉(zhuǎn)，故障排除。
小結(jié)：分析原因機(jī)械部件生銹導(dǎo)致機(jī)械動(dòng)作受阻，使機(jī)械泵啟動(dòng)困難被憋死，傳感器無(wú)感應(yīng)信號(hào)最后保護(hù)電路動(dòng)作，切斷工作電源。
故障三（JEM-1200EX）
【故障現(xiàn)象】：
開(kāi)機(jī)抽真空機(jī)械泵（RP）運(yùn)行正常，30秒后V12閥打開(kāi)，隨即幾秒鐘后V12閥又關(guān)閉，機(jī)械泵停止保護(hù)狀態(tài)，5分鐘后儀器自動(dòng)關(guān)機(jī)，無(wú)法工作。
【故障分析】：
儀器自動(dòng)關(guān)機(jī)，說(shuō)明某處異常進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)，循環(huán)水系統(tǒng)，空壓機(jī)系統(tǒng)，真空抽取系統(tǒng)都是重點(diǎn)檢查對(duì)象。
【故障排除】：
檢查循環(huán)水水溫、水流量正常。
檢查空壓機(jī)運(yùn)行正常，壓力指示正常。
檢查負(fù)責(zé)低真空的機(jī)械泵（RP）運(yùn)行正常。
檢查負(fù)責(zé)高真空的擴(kuò)散泵（DP）情況，打開(kāi)擴(kuò)散泵發(fā)現(xiàn)加熱盤(pán)（爐）是冷的，用萬(wàn)用表測(cè)量?jī)?nèi)部加熱絲已燒斷（正常為65歐左右），說(shuō)明加熱盤(pán)已損壞。更換備用加熱盤(pán)，安裝復(fù)原擴(kuò)散泵，檢查各部件及接線無(wú)誤后，重新開(kāi)機(jī)經(jīng)過(guò)40分鐘運(yùn)行，各真空參數(shù)恢復(fù)正常，各閥門(mén)也按順序正常打開(kāi)，儀器恢復(fù)正常工作。
小結(jié)：擴(kuò)散泵加熱盤(pán)（爐）連續(xù)工作時(shí)間較長(zhǎng)，加熱絲容易燒斷，需要經(jīng)常檢查和維護(hù)，損壞后及時(shí)更換。
故障四（JEM-1200EX）
【故障現(xiàn)象】：
開(kāi)機(jī)前面抽真空一切正常，當(dāng)進(jìn)行到打開(kāi)V6a閥抽電照相真空時(shí)，結(jié)果真空度下降，V6a閥無(wú)法打開(kāi)，自動(dòng)回到前一級(jí)抽真空，反復(fù)循環(huán)真空度始終上不去。
【故障分析】：
由于前面抽真空沒(méi)有發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，在進(jìn)行照相室抽真空時(shí)，真空度下降，分析照相室有可能存在泄漏。進(jìn)行真空度泄漏檢測(cè)，結(jié)果照相室泄漏最快，由此判斷照相室確實(shí)存在泄漏。
【故障排除】：
照相室結(jié)構(gòu)復(fù)雜，密封口較多，查找漏點(diǎn)較為困難。因此，根據(jù)先易后難的原則逐步檢查和排除故障部位。
1、清洗照相時(shí)門(mén)邊框及密封條，重新涂抹密封脂，開(kāi)機(jī)故障不變。
2、清洗前端大觀察窗和兩側(cè)小觀察窗及密封條，重新涂抹密封脂，開(kāi)機(jī)故障不變。
3、清洗照相室底部掃描附件，重新涂抹密封脂，故障不變。
4、檢查小熒光屏扳手組件密封情況，組件結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不好隨意拆卸檢查，臨時(shí)加工一個(gè)部件代替組件，開(kāi)機(jī)故障不變。說(shuō)明組件無(wú)泄漏問(wèn)題，換回組件，重新涂抹密封脂。
5、檢查V3閥、V9閥真空泄漏率，工作正常未發(fā)現(xiàn)泄漏，
