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三十年矢志不渝 微納產(chǎn)業(yè)展宏圖4月22日，中國(guó)微納（MEMS）技術(shù)奠基人丁衡高院士到中國(guó)電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院美泰公司考察調(diào)研，參觀...
突破‘卡脖子’技術(shù)，淄博智造再添新成果！近期，宇鴻敏芯（山東）電子科技有限公司自主研發(fā)的濺射金屬基高精納米膜芯體實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)高端傳感器領(lǐng)域空白。...
在當(dāng)今高精尖科研儀器領(lǐng)域，牛津儀器又一次成為行業(yè)矚目的焦點(diǎn)，近日重磅發(fā)布了其全新力作 ——FT - NMT04 納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)。這一新品宛如一顆閃耀在微觀世界探...
近紅外光譜對(duì)應(yīng)化合物分子的振轉(zhuǎn)動(dòng)吸收，攜帶豐富的物質(zhì)成分信息，是快速成分檢測(cè)的重要手段。光柵光譜儀受線列探測(cè)器響應(yīng)波長(zhǎng)的限制，光譜檢測(cè)范圍多為900~1700...
11月11日，第三屆傳感器與應(yīng)用技術(shù)大會(huì)如期而至，國(guó)內(nèi)外行業(yè)專家、企業(yè)代表、投融資機(jī)構(gòu)代表等各界300多人齊聚深圳光明科學(xué)城。會(huì)上，中科飛龍等10家企業(yè)簽約落...
中新網(wǎng)四川新聞11月21日電 (劉小莉)11月20日，全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)第三屆五次會(huì)議在郫都舉行，旨在進(jìn)一步推動(dòng)我國(guó)MEMS標(biāo)準(zhǔn)化工作開(kāi)展，促進(jìn)MEMS產(chǎn)業(yè)...
采用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)設(shè)計(jì)的MEMS陀螺具有體積小、功耗低、成本低、易于與集成電路集成等優(yōu)點(diǎn)，對(duì)微納衛(wèi)星、無(wú)人機(jī)群等先進(jìn)裝備的大批量部署具有重要意義。...
智能傳感 智領(lǐng)未來(lái)10月19日下午，微機(jī)電（MEMS）技術(shù)創(chuàng)新及產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇在武漢?中國(guó)光谷科技會(huì)展中心成功舉辦。圖片中國(guó)工程院院士、華中科技大學(xué)校長(zhǎng)尤政，中...
2024年9月29日，市場(chǎng)監(jiān)管總局（國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)委）發(fā)布2024年第22號(hào)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)公告，批準(zhǔn)發(fā)布《微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗(yàn)方法》（GB/T 445...
1959年，美國(guó)物理學(xué)家理查德·費(fèi)曼（Richard Feynman）在他著名的演講《底部有足夠的空間》中首次提出了將機(jī)器小型化到原子和分子層面的想法。...
近日，中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)微電子院在MEMS領(lǐng)域取得新成果，推出自主研發(fā)的新產(chǎn)品高精度MEMS智能傳感器產(chǎn)品。微電子院領(lǐng)航國(guó)內(nèi)MEMS晶...
10月7日上午，希磁科技MEMS智能磁傳感器核心器件中試研發(fā)項(xiàng)目在市經(jīng)開(kāi)區(qū)簽約。市委書(shū)記黃曉武、市長(zhǎng)馬軍出席簽約儀式，并與國(guó)投招商投資管理有限公司董事總經(jīng)理...
2024年金秋九月，奧松電子迎來(lái)了發(fā)展的又一里程碑——成功完成D輪融資7億元。此次融資由重慶產(chǎn)業(yè)投資母基金與重科控股聯(lián)合領(lǐng)投，...
《中國(guó)企業(yè)報(bào)》記者 彭學(xué)英/吳明 錢(qián)茹可以想象，一項(xiàng)科技創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化就使這一行業(yè)生產(chǎn)成本降低80％，這將會(huì)帶來(lái)多大的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。8月20日，《中國(guó)企業(yè)報(bào)...
前言浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是浙江省科技創(chuàng)新體系的重要組成部分，是支撐國(guó)家戰(zhàn)略和打造浙江科技創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)發(fā)展策源地并舉的高能級(jí)科創(chuàng)平臺(tái)。7月23日，浙江省科技廳公...
日前，全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺(tái)公開(kāi)發(fā)布信息，由昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司（簡(jiǎn)稱：昆博研究院）牽頭起草的《微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS硅壓阻...
7月26日，“中國(guó)首創(chuàng)第三代工業(yè)熱導(dǎo)式MEMS數(shù)字氣敏傳感器芯片”投產(chǎn)儀式在廣州增城開(kāi)發(fā)區(qū)舉行，應(yīng)邀來(lái)自全國(guó)各地的企業(yè)家、技術(shù)專家和政府部門(mén)領(lǐng)導(dǎo)共同見(jiàn)證廣東...
MEMS智能傳感器，能讓人與物“對(duì)話”、物與物“互通”，實(shí)現(xiàn)“萬(wàn)物互聯(lián)”。位于蚌埠市龍子湖畔的中國(guó)傳感谷，正聚力打造千億級(jí)智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)集群，一群...
文中主要講述智能微系統(tǒng)與MEMS 技術(shù)發(fā)展的重要?dú)v程和產(chǎn)業(yè)發(fā)展動(dòng)態(tài)，主要的研究成果，技術(shù)發(fā)展的瓶頸和挑戰(zhàn)，及其未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)，并對(duì)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的產(chǎn)學(xué)研協(xié)...
在深圳，華潤(rùn)微電子深圳12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目于2022年10月開(kāi)工，項(xiàng)目一期總投資規(guī)模約220億元，聚焦40納米以上模擬特色工藝，項(xiàng)目建成后可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)48萬(wàn)...
·大會(huì)將邀請(qǐng)?jiān)菏俊＜?、企業(yè)家600余人參加，并圍繞MEMS器件與微系統(tǒng)、人形機(jī)器人和腦機(jī)接口、新能源與智能網(wǎng)聯(lián)汽車(chē)等領(lǐng)域開(kāi)設(shè)三個(gè)分論壇·大會(huì)開(kāi)幕式上，將發(fā)...
4月25日，四川綿陽(yáng)科技城新區(qū)經(jīng)濟(jì)合作局局長(zhǎng)陳桂全、玖兆投資總裁遠(yuǎn)揚(yáng)、綿陽(yáng)科技城新區(qū)投資控股(集團(tuán))有限公司投資管理中心總經(jīng)...
中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例，晶圓級(jí)萬(wàn)顆批量生產(chǎn)，單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初...
發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，不僅要關(guān)注產(chǎn)業(yè)的未來(lái)，更要布局未來(lái)的產(chǎn)業(yè)。當(dāng)前，江蘇各地積極貫徹落實(shí)習(xí)近平總書(shū)記指示要求和全國(guó)兩會(huì)精神，搶抓發(fā)展機(jī)遇，加大創(chuàng)新力度，超...
3月5日，芯動(dòng)聯(lián)科發(fā)布業(yè)績(jī)報(bào)告稱，2023年，公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入3.17億元，同比增長(zhǎng)39.77%；凈利潤(rùn)1.65億元，同比增長(zhǎng)41.84%；扣非凈利潤(rùn)1.43億元，同比增長(zhǎng)33.50%。...
3月6日上午，光明區(qū)工業(yè)和信息化局、深圳市智能傳感行業(yè)協(xié)會(huì)共同組織的MEMS中試線企業(yè)需求研討會(huì)在光明公用服務(wù)平臺(tái)舉行。速騰聚創(chuàng)、漢威科技、美思先端、海譜納...
2023年1月，某超小型MEMS壓力傳感器芯片成功研制，器件技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，為解決該項(xiàng)技術(shù)的“卡脖子”問(wèn)題、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品自主可控邁出了堅(jiān)實(shí)的一步。作為技...
2月27日，記者從鄭州市智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈培育工作推進(jìn)會(huì)上獲悉，鄭州將通過(guò)強(qiáng)鏈、補(bǔ)鏈，聚力推動(dòng)MEMS研發(fā)中試平臺(tái)建設(shè)，建設(shè)智能傳感器產(chǎn)業(yè)的良好生態(tài)。圖片智能...
近日，北京智芯傳感科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“智芯傳感”）完成近億元B輪融資，本輪融資由廣發(fā)信德、皓海資本以及老股東必創(chuàng)科技...
“正式揭牌！可新增2000萬(wàn)只（套）/年的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）傳感器生產(chǎn)能力。”新年伊始，MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新基地在河北竣工揭牌，該項(xiàng)目集MEMS研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造...
1月22日消息，慣性傳感器研發(fā)商原極（上海）科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“原極科技”）日前完成數(shù)千萬(wàn)元A輪融資，投資方為順融資本，老股東原子創(chuàng)投進(jìn)一步追加投資。...
近日，中國(guó)電科所屬中國(guó)電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院投資建設(shè)的MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新基地在河北石家莊竣工揭牌。新建的MEMS傳感器封裝測(cè)試與系統(tǒng)集成產(chǎn)品線，可新增2000萬(wàn)只...
2024年1月5日，領(lǐng)先的MEMS激光雷達(dá)廠商RoboSense速騰聚創(chuàng)（股份代碼：2498.HK）正式在香港交易所主板掛牌上市，發(fā)行價(jià)為43港元，...
1月6日，MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新基地竣工揭牌儀式在鹿泉區(qū)舉行。市委副書(shū)記、市長(zhǎng)馬宇駿，中國(guó)電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院院長(zhǎng)卜愛(ài)民出席儀式，并為MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新基地揭...
汽車(chē)行業(yè)近些年正在經(jīng)歷一場(chǎng)巨變，越來(lái)越多的電子元器件正被集成到汽車(chē)之中，以提高駕駛員和乘客的安全性和舒適性。甚至，如今的汽車(chē)已經(jīng)比幾十年前的超級(jí)計(jì)算機(jī)...
據(jù)華創(chuàng)證券發(fā)布研究報(bào)告稱，力傳感器應(yīng)用空間廣闊，六維力傳感器技術(shù)壁壘高筑，人形機(jī)器人等新興產(chǎn)業(yè)驅(qū)動(dòng)力傳感器市場(chǎng)高速增長(zhǎng)。這表明傳感器技術(shù)在現(xiàn)代科技領(lǐng)域...
中國(guó)航天科技集團(tuán)有限公司九院704所完成了萬(wàn)分級(jí)高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進(jìn)工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控和升級(jí)換代提供核心關(guān)鍵產(chǎn)品。圖片“...
近日，重投集團(tuán)聯(lián)合賽微電子及戰(zhàn)略投資方華大集團(tuán)旗下華大松禾、遠(yuǎn)致星火、科萊恩特等各方投資建設(shè)的深圳市智能傳感器MEMS項(xiàng)目公...
集微網(wǎng)消息，研究機(jī)構(gòu)表示，隨著中國(guó)汽車(chē)銷(xiāo)量持續(xù)增長(zhǎng)，以及汽車(chē)智能系統(tǒng)的發(fā)展，汽車(chē)制造商對(duì)MEMS微傳感器的要求也在快速增加。這促使中國(guó)傳感器制造商擴(kuò)大研發(fā)...
2023年9月13日，SENSOR CHINA中國(guó)（上海）國(guó)際傳感器技術(shù)與應(yīng)用展覽會(huì)在上?？鐕?guó)采購(gòu)中心開(kāi)幕，美泰公司攜多款MEMS傳感器參展，...
根據(jù)Yole Group發(fā)布的MEMS年度報(bào)告《Status of the MEMS Industry 2023》，MEMS市場(chǎng)將以5%的年復(fù)合增長(zhǎng)率，從2022年的145億美元增長(zhǎng)到2028年的200億美元。消費(fèi)型...
上證報(bào)中國(guó)證券網(wǎng)訊 8月28日晚間，歌爾股份發(fā)布半年報(bào)： 2023年上半年，公司營(yíng)業(yè)收入完成452億元，同比增長(zhǎng)3.6%。歸母凈利潤(rùn)4.2億元，報(bào)告期內(nèi)，公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收...
根據(jù)Mordor Intelligence的數(shù)據(jù)，MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微電子機(jī)械系統(tǒng)）市場(chǎng)預(yù)計(jì)從2023年的155億美元增長(zhǎng)到2028年的232.3億美元，年復(fù)合增...
MEMS加速度計(jì)對(duì)于檢測(cè)故障情況、幫助防止意外斷電或避免發(fā)生其他代價(jià)高昂的事件至關(guān)重要，但我們?cè)谶x擇和安裝合適的MEMS傳感器之前，需要仔細(xì)考慮多個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，...
多年來(lái)，汽車(chē)廠家都在探索更多的傳感器來(lái)更好地服務(wù)駕駛場(chǎng)景需求，汽車(chē)廠家已從單一關(guān)注車(chē)外世界的探測(cè)向艙內(nèi)外升級(jí)并行。其中，...
近日，中國(guó)電科9所突破從器件設(shè)計(jì)到材料制備等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，研制出高性能的MEMS磁通門(mén)傳感器。MEMS磁通門(mén)傳感器作為一種高精度...
近日，中國(guó)電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院美泰科技微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）傳感器市場(chǎng)拓展再獲突破，自主研發(fā)的MEMS慣性器件與系統(tǒng)累計(jì)實(shí)現(xiàn)百萬(wàn)級(jí)...
隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、數(shù)字經(jīng)濟(jì)、智能裝備、元宇宙等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，MEMS傳感器的需求量在快速增長(zhǎng)。根據(jù) Yole 的 數(shù)據(jù)，2020 年全球 MEMS 行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模為 120...
3月29-30日，由全球電子技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先媒體集團(tuán)ASPENCORE舉辦中國(guó)IC設(shè)計(jì)行業(yè)的年度盛會(huì)——2023年中國(guó)IC領(lǐng)袖峰會(huì)暨2023中國(guó)IC設(shè)...
近日，由新華社主辦的《瞭望》新聞周刊，就基礎(chǔ)學(xué)科拔尖人才培養(yǎng)為新時(shí)代卓越工程師等問(wèn)題，專訪了中國(guó)工程院院士、華中科技大學(xué)校長(zhǎng)尤政，尤政院士以國(guó)內(nèi)MEMS技...
“一個(gè)國(guó)家、一個(gè)民族，要想在世界上真正立足并贏得國(guó)際社會(huì)的尊重，必須占據(jù)高科技領(lǐng)域的陣地，一定要把核心技術(shù)掌握在自己手中?！敝袊?guó)工程院院士、西安交通大...
超越摩爾12月16日，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院（SITRI）舉辦的“超越摩爾”技術(shù)開(kāi)放日暨2022 SITRI DAY高峰論壇在上海召開(kāi)，奧迪威...
傳感器與計(jì)算機(jī)、通信并稱為現(xiàn)代信息技術(shù)的三大支柱。當(dāng)計(jì)算機(jī)向深度學(xué)習(xí)、人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)等類人腦方向發(fā)展，通信向5G、6G、物聯(lián)網(wǎng)等方向發(fā)展，傳感器將何去何從？...
11月18日消息，據(jù)IC Insights近日發(fā)布的報(bào)告稱，受“智能”嵌入式控制的普及和市場(chǎng)供應(yīng)緊張導(dǎo)致售價(jià)上漲的推動(dòng)，預(yù)計(jì) 2022 年半導(dǎo)體傳感器銷(xiāo)售額與去年相比將繼...
什么是MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器？記者在蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“敏芯股份”）里感受到了它的神奇。在一間混...
作為一流的MEMS車(chē)規(guī)加速度計(jì)，AIS25BA針對(duì)路噪和相關(guān)振動(dòng)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，能準(zhǔn)確控制車(chē)內(nèi)聲學(xué)環(huán)境，讓車(chē)艙變得更安靜。服務(wù)多重...
MEMS傳感器圓的方的形狀各異，有拇指般小的，也有掌心般大的，封裝下藏著各種元件、電路的“小小世界”，讓張賓一直癡迷著。這就是讓他研究了將近20年的東西，也...
為進(jìn)一步豐富公司產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈、提升公司傳感器業(yè)務(wù)的綜合競(jìng)爭(zhēng)力，有效促進(jìn)公司長(zhǎng)期戰(zhàn)略目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)，6月30日，漢威科技與茂丞科技...
MEMS傳感器行業(yè)主要上市公司：目前國(guó)內(nèi)MEMS傳感器行業(yè)的上市公司主要有歌爾股份(002241)、賽微電子(300456)、士蘭微(600460)、華潤(rùn)微(688396)、高德紅外(002414)...
IoT和人工智能時(shí)代，MEMS傳感器將成為最具前景的產(chǎn)業(yè)之一。 在7月9日2021世界人工智能大會(huì)分論壇“新一代智能傳感器與邊緣智能論壇”上，華景傳感科技（無(wú)錫）有...
近日，睿感（濟(jì)南）半導(dǎo)體有限公司（簡(jiǎn)稱“睿感”）市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)副總裁鄧川軍先生與感知芯視界記者對(duì)話，圍繞傳感器國(guó)產(chǎn)化進(jìn)階之路的主題，談到了傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)...
氫能源是終極的清潔能源，是中國(guó)新能源未來(lái)發(fā)展的重點(diǎn)領(lǐng)域。近年來(lái)國(guó)家開(kāi)始部署氫能發(fā)展與利用，國(guó)內(nèi)主要車(chē)企均已開(kāi)展氫燃料電池...
9月22日下午，由CEM華盛昌組織舉辦的“南方科技大學(xué)材料科學(xué)與工程系-華盛昌MEMS傳感技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室”揭幕式在華盛昌總部正式拉...
一個(gè)全新的 MEMS 世界：2026年 $18.2 億美元的市場(chǎng)1MEMS 市場(chǎng)將因音頻領(lǐng)域的麥克風(fēng)，微型揚(yáng)聲器和慣性 MEMS ，用于光學(xué) MEMS 的 AR/VR 和其他應(yīng)用等 新機(jī)遇而增...
這個(gè)產(chǎn)業(yè)的機(jī)會(huì)太多了，一輩子也做不完的?！崩顒偢锌谶@樣的產(chǎn)業(yè)大機(jī)遇下，新產(chǎn)品、新應(yīng)用將層出不窮，進(jìn)而推動(dòng)傳感器市場(chǎng)規(guī)模更快增長(zhǎng)?！安灰獡?dān)心下游市場(chǎng)...
MEMS傳感器有望成為半導(dǎo)體分立器件板塊增長(zhǎng)最迅速的細(xì)分賽道，近日，市場(chǎng)調(diào)研機(jī)構(gòu)IC Insights發(fā)布報(bào)告稱，基于 MEMS 的傳感器/執(zhí)行器產(chǎn)品需求在 2020 年下半年激...
近日，睿創(chuàng)微納發(fā)布2021年第一季度報(bào)告，報(bào)告期內(nèi)公司2021年一季度實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)總收入約3.8億，同比增長(zhǎng)64.9%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)約1.2億，同比增長(zhǎng)42%。報(bào)告期內(nèi)經(jīng)營(yíng)活...
專家表示，新基建的加快建設(shè)以及新一代信息技術(shù)的快速發(fā)展為MEMS智能傳感器帶來(lái)巨大的機(jī)遇。近日，素有“珠城”之美譽(yù)的蚌埠因?yàn)橐粓?chǎng)大會(huì)的舉辦而熠熠生輝、大放...
一、MEMS基本概念和相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策M(jìn)EMS基本概念微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米...
近年來(lái)，車(chē)聯(lián)網(wǎng)、自動(dòng)駕駛、汽車(chē)智能化等成為了汽車(chē)行業(yè)的熱點(diǎn)話題，隨著人們對(duì)汽車(chē)智能化、安全化的追求日益凸顯，汽車(chē)電子的市場(chǎng)需求不斷增長(zhǎng)，而對(duì)汽車(chē)電子起...
阿爾伯特?卡繆斯（Albert Camus）在他的一部著名寓言小說(shuō)《瘟疫》中描述了一個(gè)小城市的居民在瘟疫流行中如何被限制并與外界隔絕，及其對(duì)人們態(tài)度造成的影響。這...
近日，歌爾股份發(fā)布2020年度業(yè)績(jī)快報(bào)：2020年末公司總資產(chǎn)4,882,817.10萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)40.88%；營(yíng)業(yè)收入5,761,282.01萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)63.92%。歌爾股份營(yíng)業(yè)利潤(rùn)本報(bào)...
1月27日，睿創(chuàng)微納發(fā)布2020年年度業(yè)績(jī)預(yù)告：預(yù)計(jì)2020年年度實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)為5.9億元左右，與上年同期（法定披露數(shù)據(jù)）相比，將增加38,838.41萬(wàn)...
微機(jī)電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡(jiǎn)稱MEMS，基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器已有30多年的發(fā)展歷史，但因?yàn)榇嬖诩夹g(shù)和成本等客觀發(fā)展因素的限制，未能...
自上世紀(jì)90年代以來(lái)，針對(duì)MEMS慣性器件的研究也越來(lái)越多，MEMS慣性傳感器開(kāi)始得到了廣泛的商業(yè)應(yīng)用。本文對(duì)部分MEMS慣性傳感器國(guó)內(nèi)外的新近研究成果進(jìn)行了分類與...
2020年是國(guó)家“十三五”規(guī)劃的收官之年?！笆濉逼陂g，作為傳感器領(lǐng)域的重要增長(zhǎng)點(diǎn)，MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展成果尤為豐碩，中國(guó)已經(jīng)成為全球MEMS市場(chǎng)發(fā)展最快的地區(qū)。消...
采訪背景：西人馬（FATRI）是一家以IDM模式經(jīng)營(yíng)的芯片公司，具備芯片和傳感器材料合成、設(shè)計(jì)、制造、封裝和測(cè)試全方位能力，致力于民用航空、能源、醫(yī)療、交通及...
近年來(lái)，人們對(duì)短波紅外（在1000到2000納米之間）波段的成像需求不斷攀升。這些短波紅外傳感器在食品檢驗(yàn)等行業(yè)至關(guān)重要，它們可以提供探測(cè)物體內(nèi)部的能力，例如...
日前，美國(guó)公布了一份長(zhǎng)達(dá)35頁(yè)的《新興科技趨勢(shì)報(bào)告》。該報(bào)告是在美國(guó)過(guò)去五年內(nèi)由政府機(jī)構(gòu)、咨詢機(jī)構(gòu)、智囊團(tuán)、科研機(jī)構(gòu)等發(fā)表的32份科技趨勢(shì)相關(guān)研究調(diào)查報(bào)告...
不管是工業(yè)，還是生活生產(chǎn)過(guò)程中，傳感器的作用都是很重要，扮演著信息搜集以及處理的角色。為何會(huì)出現(xiàn)MEMS傳感器呢？這與芯片、材料和制造技術(shù)的發(fā)展密不可分，...
硅材料從大自然常見(jiàn)的沙子中取材，成本低、產(chǎn)量大，因此被廣泛用作MEMS器件的襯底材料，并被譽(yù)為信息時(shí)代的“骨干”材料。但是，硅在常溫環(huán)境下的脆性限制了MEMS...
近日，湖南大學(xué)機(jī)械與運(yùn)載工程學(xué)院微納制造與微系統(tǒng)技術(shù)研究團(tuán)隊(duì)提出了一種基于電極質(zhì)量負(fù)載超靈敏的聲表面波敏感機(jī)制，并采用新型電子束納米加工藝、結(jié)合自主推...
MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體 集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的，它開(kāi)辟了一個(gè)全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)，其目標(biāo)是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集...
工作中的甘肅省科學(xué)院傳感技術(shù)研究所副所長(zhǎng)：宋玉哲現(xiàn)任甘肅省科學(xué)院傳感技術(shù)研究所副所長(zhǎng)的宋玉哲，畢業(yè)時(shí)正值該院傳感技術(shù)研究所的轉(zhuǎn)型期和瓶頸期，急需能夠從...
陀螺儀是用來(lái)測(cè)量角速率的儀器，在加速度功能基礎(chǔ)上，可以進(jìn)一步發(fā)展，構(gòu)建陀螺儀。陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的：對(duì)固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個(gè)質(zhì)量塊...
深硅刻蝕技術(shù)在工業(yè)界應(yīng)用廣泛，包括集成電路制造、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造和微納光子學(xué)的研究等領(lǐng)域，其經(jīng)歷了由濕法刻蝕到干法...
近兩年來(lái)，車(chē)聯(lián)網(wǎng)，自動(dòng)駕駛、無(wú)人駕駛，汽車(chē)智能化等成為了汽車(chē)行業(yè)的熱點(diǎn)話題， 也指引了汽車(chē)在未來(lái)的發(fā)展方向，目的都是為了進(jìn)一步提升車(chē)輛行駛中的安全性，...
一、精密電子零部件概述 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是指尺寸在毫米級(jí)甚至微米級(jí)的微型電子裝置，主要可分為微型傳感器和微型執(zhí)行器兩個(gè)大類。由于MEMS的尺寸較小，用于...
近紅外光譜可為物質(zhì)提供特有的吸收光譜，從而使鑒別氣體種類成為可能。因此，需要利用小型化光譜儀實(shí)現(xiàn)緊湊型氣體傳感器，從而監(jiān)測(cè)生活空間的空氣質(zhì)量。然而，傳...
聲級(jí)計(jì)（Sound Level Meter，簡(jiǎn)稱SLM）的主要成本是測(cè)量級(jí)麥克風(fēng)，如0.5英寸反應(yīng)耦合等離子體（Inductively Coupled Plasma，簡(jiǎn)稱ICP）麥克風(fēng)。高昂的麥克風(fēng)成本...
數(shù)字化技術(shù)驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)，產(chǎn)品逐步進(jìn)入智能階段。繼互聯(lián)網(wǎng)之后，與國(guó)民經(jīng)濟(jì)息息相關(guān)的物聯(lián)網(wǎng)也被推到了風(fēng)口浪尖，根據(jù)此前全球物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展數(shù)據(jù)來(lái)看，2018年全球物...
由于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）產(chǎn)品的三維（3D）結(jié)構(gòu)及其與生俱來(lái)的機(jī)械特性，制造MEMS器件面臨著獨(dú)特的挑戰(zhàn)。此類產(chǎn)品需要特定的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，以便實(shí)現(xiàn)包括振動(dòng)、旋轉(zhuǎn)或...
相對(duì)重力儀是一種測(cè)量重力加速度變化的儀器，它在區(qū)域重力研究及重力填圖、油氣及礦藏勘探、地球重力場(chǎng)輔助導(dǎo)航等方面有著廣泛的應(yīng)用。但是，目前商用的相對(duì)重力...
無(wú)人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機(jī)、車(chē)輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺(tái)，以達(dá)到最佳性能，但它們通常在可能遇到振動(dòng)和...
MEMS加速度計(jì)終于達(dá)到了能夠測(cè)量廣泛機(jī)器平臺(tái)振動(dòng)的階段。其最近的能力進(jìn)步，加上MEMS加速度計(jì)已有的相對(duì)于傳統(tǒng)振動(dòng)傳感器的諸多優(yōu)勢(shì)（尺寸、重量、成本、抗沖擊...
微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)作為一項(xiàng)新興的微細(xì)加工技術(shù)，已開(kāi)始在各領(lǐng)域應(yīng)用。它可將信息獲取、處理和執(zhí)行等功能集成，具有微小、智能、可執(zhí)行、可集成、工藝兼...
本系統(tǒng)提出的算法主要是在加速度計(jì)、陀螺儀、磁力計(jì)采集人體運(yùn)動(dòng)姿態(tài)信息的基礎(chǔ)上，運(yùn)用擴(kuò)展卡爾曼濾波將數(shù)據(jù)進(jìn)行融合，得到人體腰部和腿部的角度信息，然后通過(guò)...
